中古 VEECO / EMCORE D125 #293793344 を販売中

VEECO/EMCORE D125は、様々なスパッタ蒸着用途向けに設計された高出力の垂直電子サイクロトロン共鳴（ECR）マグネトロンスパッタリング炉です。原子炉は、直径125 mmまでのターゲットを受け入れることができる垂直モリブデン陰極と陽極を持っています。オーブンは、可能な3 Torr下限で6 Torrまでの圧力をサポートすることができ、蒸着ゾーンで一貫した均一なガス環境を作成するユニークなガスミキサーノズルを備えています。この原子炉は、ECRマイクロ波電力で駆動され、125mmの導波路開口を備えた短い導波管を備えています。これにより、ECRマイクロ波電力の直接導波路カップリングが可能になり、より高い沈着率とより高いイオン化効率が得られます。VEECO D125は13。56MHzで動作し、ECRマイクロ波の電力レベルを正確に制御するための組み込み電源制御システムを備えています。また、電源制御システムにより、ターゲットサイズ、ターゲット形状、蒸着速度、ベース圧力、マイクロ波電力などのシステムパラメータのレシピ制御を強化できます。この原子炉は、最大3つのRF加熱源と石英ランプ加熱、および温度測定用の統合ピロメーターなど、さまざまな加熱オプションを提供しています。ピロメーターを設置することで、酸化処理やアニール処理にも使用できます。EMCORE D125で利用可能なクォーツランプ加熱ランプは、調整可能な強度を持ち、基板の精密な加熱のために調節可能な高さを持つ赤外線、紫外線、および深い紫外線で利用可能です。その機能に加えて、D125リアクターは、複数のベースプレッシャー条件、カスタムターゲットハーネスの長さとアノード設計、およびオプションの設定可能なECRリモートソースなど、お客様のニーズに合わせてカスタマイズすることもできます。この原子炉はまた、危険な地域環境での使用のために認定されており、ATEXやIECExを含む幅広い分類があります。これにより、産業、研究、大学の研究室など、さまざまなアプリケーションに適しています。全体として、VEECO/EMCORE D125は、卓越した性能と品質の堆積を提供するように設計された効率的で信頼性が高く、カスタマイズ可能な原子炉です。この原子炉はさまざまな柔軟なオプションを提供しており、さまざまなスパッタ蒸着アプリケーションに最適です。