中古 VEECO E475 #293641835 を販売中

VEECO E475は、非常に高純度材料を製造するために設計された原子炉です。これは、原子炉の真空炉の中で熱、高圧、真空の組み合わせで行われます。炉の温度範囲は1400°Cですが、電極の高電圧定格は200〜10,000Vの範囲であり、さまざまな金属や合金を基板に堆積させることができます。原子炉はオプションのユニークなオールメタルホットウォール設計で、最大圧力は10-4 torrと評価されています。さらに、反応ガス入口と排気装置は、それぞれ15 sccmと200 sccmまでの様々なガスの流れを可能にします。これにより、蒸着プロセスのためのAr、 O2、 N2、および他の分子を正確に制御することができます。この炉には2つのオイルフリーポンピングシステムがあり、1つはプロセス供給用（14。7 psi）と真空チャンバー用（1つ）です。真空チャンバーの場合、ポンピングシステムはスクロールポンプによって裏打ちされた冷たい外傷ターボ分子ポンプで構成されています。これら2種類のポンプは、ドアを介してプロセスチャンバーを開閉する機能と組み合わせて、プロセスチャンバー内の大気を非常に正確に制御するだけでなく、非常にきれいな操作を保証します。コントロールユニットを使用すると、タッチスクリーンを内蔵してすべての操作をセットアップおよび監視できます。この制御装置により、お客様はガスの流れ、圧力、電源設定を微調整することができ、幅広い基材に対して蒸着速度と均一性を最大化できます。E475は良質材料を作り出すことができる信頼でき、使いやすい炉です。この原子炉は、ナノ構造から複雑なパターンに至るまで、多くの用途に最適であり、工業用および学術用の試験や研究に最適です。