中古 VEECO E450 #293641839 を販売中

VEECO E450は、優れた適合性と均一性を有する薄膜の成膜に使用される原子層成膜（ALD）原子炉です。薄膜成膜、エピタキシー成長、エッチングなどの小規模半導体製造プロセスの要件を満たすように設計された多目的ツールです。この原子炉は、優れたプロセス再現性と精度を提供し、より高い歩留まりをもたらし、全体的なプロセス制御を向上させます。E450は、デュアルソース、低エネルギー電子ビーム蒸発装置と可変金属酸化物源を備えています。この蒸発器は、均一性、厚さ、均質性を向上させた高品質の薄膜を基板に堆積させることができます。金属酸化物源は、高性能デバイスの製造に重要な極めて狭い厚さの膜を製造することができます。さらに、このシステムは、さまざまな化学組成のALDプロセスやフィルムを実行するように構成することができます。VEECO E450は、高度なユニットレベル制御機を備えており、プロセスの歩留まりと制御を向上させるための正確な温度、時間、および圧力制御を提供します。このツールは、望ましい沈着結果を達成するために25以上のプロセス変数を制御する機能を備えています。また、膜厚と品質を測定し、高度なプロセス制御を容易にするための統合計測および分析機能も備えています。E450炉は、高い稼働時間、再現性、信頼性を備えた柔軟な生産プロセス向けに設計されています。2つの低温反応チャンバー、高速サイクリングロードロック、高効率で低イオン化ポンピングシステムなど、最新の先進的なコンポーネントと技術で構築されています。さらに、プロセス開発とテストは、統合されたテストチャンバーで行うことができます。VEECO E450炉は、先進的な半導体デバイスを製造するための重要な装置です。優れたフィルム均一性、高収率、再現性を提供する使いやすい資産です。さらに、高度なモデルレベル制御と統合計測により、望ましい薄膜成膜結果が一貫して達成されることを保証します。