中古 VEECO E450 #293641838 を販売中

VEECO E450は、半導体ウェーハ処理用の完全なターンキーソリューションです。複雑な半導体部品を製造するために設計された多目的エッチングおよび蒸着炉です。原子炉は完全に囲まれた水平キャビネットで構成されており、原子炉の中核部品が含まれています。キャビネットの左側には、主要な電気化学めっきセルと抵抗ガスエッチングセルを収容するプロセス室があります。Process ChamberはProgrammable Logic Controller （PLC）によって運営され、原子炉環境を正確に制御します。キャビネットの右側には熱交換器があり、プロセス室から原子炉冷却システムに熱を転送します。冷却システムは、一連の冷却板、ファン、オイルクーラーで構成されており、原子炉が所望の温度を維持することを保証します。熱交換器は、原子炉真空の静圧の調整も担当しています。静圧は、基板へのリアクタントの制御適用に不可欠です。プロセスチャンバーは、それぞれ独自のプロセスとコントロールを持つ3つのプロセス領域に編成されています。最初のプロセス領域は、基板上に白金などの金属を堆積させるために電気化学プロセスを使用する白金蒸着チャンバーです。プラチナ蒸着チャンバーにはガスジェットコントローラが装備されており、プロセス中のリアクタントを正確に制御できます。2番目のプロセス領域は、高周波プラズマを使用して基板に複雑な構造をエッチングする抵抗ガスエッチングチャンバーです。チャンバーにはクローズドループ温度制御システムが装備されており、安定したエッチング環境を確保します。3番目のプロセス領域は、物理スパッタリングとイオンエッチングを組み合わせて基板上に複雑なパターンを作成する反応イオンエッチングチャンバーです。E450は汎用性の高いユーザーフレンドリーな原子炉で、幅広い半導体コンポーネントを作成するように設計されています。精密制御システムと高度なプロセスを備えたVEECO E450は、半導体業界の製造プロフェッショナルに最適です。