中古 VEECO / DEKTAK K465 #9383053 を販売中

VEECO/DEKTAK K465は、蒸着および/またはエッチング制御に使用される原子炉の一種です。エリプソメトリー、光学干渉計、走査型電子顕微鏡などの他の分析技術を実行するために動作する水晶結晶マイクロバランス装置です。この原子炉は、高度な集積回路（IC）の研究および製造にしばしば使用されます。VEECO K465は、精密なプロセス制御のために一緒に動作するコンポーネントの数で構成されています。原子炉中心部には、非常に少量の質量堆積とエッチングを測定するために使用される水晶-結晶-マイクロバランス結晶セルがあります。このシステムには、蒸着およびエッチングプロセスを監視する超高速デジタルイメージングユニットも含まれています。また、スパッタリングやイオンエッチング用のイオン源、大気制御用の真空ポンプ、その他様々な部品も搭載しています。DEKTAK K465は、プロセスパラメータの制御において優れた精度、精度、再現性を提供します。超高解像度の測定を1ナノメートルの範囲で行うことができ、さまざまな温度および圧力での蒸着およびエッチング技術に適しています。この原子炉は、金属、半導体、絶縁体など、さまざまな材料や基板の研究および試験にも使用されています。もともとはIC加工の研究開発を中心に設計されていましたK465、自動車、化学/プロセス、医療機器製造など、他の産業でも使用されています。この原子炉は、プラズマプロセスにおいて優れた性能を発揮し、これらの産業においてより高速で高解像度の測定を行うことができます。全体として、VEECO/DEKTAK K465は、さまざまな産業や用途で使用される高度で高性能な原子炉です。このツールは非常に信頼性が高く、処理されている環境や材料に関係なく、高精度な結果をもたらすことができます。VEECO K465は、その優れた解像度と性能により、半導体加工および成膜/エッチング制御を含む研究または開発プロジェクトにおいて考慮されるべきです。