中古 VEECO / DEKTAK K465 #9229665 を販売中

VEECO/KDEKTAK VEECO/DEKTAK K465炉は、半導体産業における薄膜蒸着用材料の層を堆積するように設計されています。0。1nmという薄さのレイヤーを精密に高解像度で制御し、重要な立体構造を作り出します。VEECO K465リアクタは、ロボット、マニュアル、シングルウェーハインデクサ構成など、さまざまな種類の基板伝達メカニズムに対応できる汎用性の高いデュアルトランスポートベローズを備えています。輸送ベローズはまた、複数の原子炉部品を正確かつ一貫した統合を可能にします。高度なベロー設計により、反応チャンバー内のクリーンで安定した環境を確保し、高品質の層を作成するのに理想的です。DEKTAK K465炉の真空システムも効率的な性能に貢献しています。ディフューザーと液体窒素シールドコールドトラップを備えたターボポンプで構築され、高真空レベルを生成し、ポンプダウン時間を短縮します。これにより、原子炉は迅速に作業を開始し、連続蒸着運転を中断することなく完了することができます。K465はまた高度の基質の暖房機能を提供します。基板温度を正確に制御するための2つの異なる基板ゾーン、すなわち低温ゾーンと高温ゾーンがあります。さらに、このゾーンには、基板の均一な加熱のための熱絶縁サセプターがあります。この原子炉は、温度上昇時に正確かつ安定した制御を保証する複雑な制御ロジックを備えています。全体として、VEECO/DEKTAK K465は、微細な立体構造の製造に最適な精密薄膜蒸着システムです。その信頼性の高いデュアルトランスポートベローズは、正確な蒸着制御を提供し、真空システムは一貫してクリーンな環境を保証します。さらに、その基板加熱機能は、基板の周りの均一な温度を確保します。これらの機能は、先進的な半導体技術を生み出すための優れたツールです。