中古 VEECO 695 #9291133 を販売中

VEECO 695はプラズマ処理炉で、半導体、LED、太陽電池、医療機器などに使用される高精度な部品を製造するために設計されています。この原子炉は、先進的な直接駆動型の永久磁石モーターと5軸ガントリー装置を備えています。このシステムは、複数のデュアルプロセスウェーハと1つのウェーハをサポートしています。695は、特定のプロセスアプリケーションに応じてカスタマイズできる高度なプラズマ処理のための印象的な機能の範囲を提供します。それは複数の技術を支えるために内部の開いたインターフェイスと設計されています。このオープンインターフェイスにより、VEECOプラズマソース、イオンビームジェネレータ、スキャン楕円計と互換性があります。3つの吸収モデルにも対応しています。VEECO 695には原子炉を構成する2つのチャンバーがあります。最初の1つはプロセスウェーハを保持するように設計されており、もう1つはプラズマ源を保持しています。プロセスウエハの直径は最大30インチ、厚さは最大100ミクロンです。プラズマ源は、処理中に最大1。5 Torr圧力を生成することができます。695はユニークなユニットインターフェイスを備えており、ユーザーは最大限の制御と精度のために原子炉をリモートで制御することができます。組み込みのプロセス監視ツールにより、ユーザーはプロセスパラメータを監視し、ウェーハの進捗状況をリアルタイムで監視できます。この原子炉は、チャンバーとウェーハの両方に正確な温度を維持できるマルチゾーン温度制御装置を使用しています。VEECO 695は、フォトマスク、抵抗、ウェーハ洗浄からエッチング、蒸着、酸化プロセスまで、幅広い用途に適しています。その先進的な機能と設計は、高精度プロセスをサポートし、原子炉を最も正確で要求の厳しいプラズマ処理ニーズに最適にします。設計、性能および多様性の695の独特な組合せはそれをあらゆる適用のための優秀な選択にします。