中古 UNAXIS / OERLIKON / ESEC LA #9308045 を販売中

UNAXIS/OERLIKON/ESEC LAリアクターは、さまざまな産業用途向けに設計された連続的な産業用プラズマ処理システムです。これは、高度なデバイスや電子部品の製造とエッチングを目的としています。ESEC LAリアクターは、内部マグネトロン源を有するチャンバーで構成されています。このチャンバーはダブルバッフルジオメトリで設計されており、磁場を使用することで最大化されたフラックスラインの制御を向上させます。全体的なデザインは、プロセスの急速な冷却に有利な高導電性壁を提示します。この原子炉の動作は、キセノン、酸素、塩素、水素、窒素などの様々なガスで低圧と高温下で行われます。UNAXIS LAリアクターの他のモデルに対する主な利点は、並列配電、安定したプラズマ特性、最大800Aの高放射電流、サービスフリー動作、低コスト、および高速起動時間で構成されています。原子炉の制御は、プロセスの高い精度と再現性を提供し、原子炉に高い再現性を与えます。これにより、中規模から大規模工業生産に適しています。OERLIKON LAリアクターは、高度なデバイスやコンポーネントの生産を通じて高い安全レベルを提供する多くの安全機能を備えています。これらの安全対策には、低電圧制限、プロセスバイプロダクトを排出するための内蔵の排気ブロワ、液体または固体粒子を含むガス混合物および混合物、および輝きのない活動のための監視レベルが含まれます。LAリアクターのもう一つの重要な特徴は、パルス電力の所望の変化を提供する高度な発電機の組み込みです。このような変化は、エッチングの必要なレベルに依存し、より高い解像度と領域のクリーニングを提供します。この機能により、原子炉をより正確な操作に使用し、品質を損なうことなく生産性を向上させることができます。したがって、UNAXIS/OERLIKON/ESEC LA Reactorは、先進的で効率的で機能豊富な産業用プラズマプロセッサであり、先進的なデバイスやコンポーネントを製造およびエッチングします。優れたプロセス制御と安全対策、高精度かつ再現性の高い操作を提供します。したがって、大量の工業生産アプリケーションには特に推奨されます。