中古 ULVAC ZX-1000 #9237358 を販売中

ULVAC ZX-1000
製造業者
ULVAC
モデル
ZX-1000
ID: 9237358
ウェーハサイズ: 8"
PVD System, 8" (5) Chambers Preclean PZT Pt Loadlock.
ULVAC ZX-1000は、柔軟で効率的な運転のために設計された高温、低真空、プラズマ炉です。この原子炉は、低真空環境下で最大1000°Cの温度を達成することができ、さまざまな高度な加工および材料合成作業に理想的な雰囲気を提供します。また、幅広いプロセスアプリケーション、材料、プロセスに適応できるように設計されています。アルバックZX 1000は、電子サイクロトロン共鳴装置と誘導結合放電源を組み合わせたプラズマ源に垂直な放射磁場を備えています。この組み合わせは、理想的な低真空環境を作り出し、高密度プラズマを提供します。この原子炉はまた、二次電子の放出レベルが低いため、熱干渉を最小限に抑えるように設計されています。ZX-1000は、超高速デジタル電源システムを搭載しています。精密な電力制御と効率的な運転を可能にします。さらに、原子炉は動作温度が低く、熱損失を低減し、周囲の部品への熱負荷を最小限に抑えるように設計されています。ZX 1000には、運転中の過度の温度を防ぐ温度制御装置など、いくつかの安全機能があります。また、緊急遮断機能や、耐火配線や化学的に不活性なシーラントなどの安全機能も備えています。ULVAC ZX-1000独自の設計により、硬化処理、薄膜成膜、スパッタリングなど幅広い用途に対応できます。さらに、その設計は、適切な温度制御、高密度プラズマ、および正確な電力設定により、低真空環境を必要とする任意の実験技術に適応することができます。ULVAC ZX 1000は、さまざまな用途に適した高品質の材料を作成および維持するための理想的な生産機械です。
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