中古 ULVAC ZX-1000 #9237353 を販売中

ULVAC ZX-1000
製造業者
ULVAC
モデル
ZX-1000
ID: 9237353
ウェーハサイズ: 8"
PVD System, 8" (5) Chambers Preclean Al AlSi Loadlock.
ULVAC ZX-1000は、研究開発ラボや産業プロセスで動作するように設計された低電圧アーク炉です。この装置は小型で柔軟性があり、直径100mmのチャンバー、0。9kgの放電アーク、超高真空などの高性能特性を提供します。また、1100°Cまでの発熱体を持つ20-3000mTを含む範囲の広い範囲を持っています。アルバックZX 1000リアクターは、信頼性と安全性に優れた堅牢な設計です。磁場を利用してアークを作成し、エネルギー放出を調節し、アーク温度の増加と制御を可能にします。この制御は、加工される材料の種類を精製するために使用することができ、また、より高い収率とモル比を得るために使用することができます。大気ガスの最適濃度を確保するために、統合ガス分析システムが利用可能です。ZX-1000はさらに電源、ロードロックユニット、処理チャンバーを備えています。電源は、原子炉が経済的かつ信頼性の高い方法で動作していることを保証し、ユーザーがアプリケーションに最適なパラメータを選択できるようにします。負荷ロック機械は大気管理、圧力制御および温度調整を最大限に活用します。また、このツールを高真空条件で避難させ、最適な基板雰囲気で補充することもできます。最後に、処理室は反応のための高度に制御された環境を提供します。ZX 1000は柔軟性を考慮して設計されており、高速スイッチング、安定したアーク放電、長い運用円弧、原子炉のメモリに保存できるレシピを事前定義するオプションなどの高度な機能を備えています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスは、ユーザーエクスペリエンスにさらなる利便性をもたらします。ULVAC ZX-1000炉は、信頼性が高く、エネルギー効率が高く、費用対効果の高いアーク炉を必要とする研究開発と産業プロセスの両方にとって理想的な選択肢です。高度な安全機能、幅広い動作パラメータ、処理チャンバーを備え、多くのアプリケーションで使用できる汎用性の高い資産です。
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