中古 ULVAC VPC-260 #9296182 を販売中

ULVAC VPC-260は、プラズマの供給源として一般的に使用される低電圧容量放電（CD）原子炉です。このタイプの原子炉は、エッチング、蒸着、表面改質などのプロセスに最適です。VPC-260にはデジタルワークコントローラ（DWC）が装備されており、電圧、パルス持続時間、容量設定などのプロセスパラメータを正確に制御できます。アルバックのVPC-260の部屋はステンレス鋼およびニッケルによってめっきされる銅と組み立てられます。リアクターの上部にある石英窓を使用すると、リアルタイムでプラズマ状態を監視できます。また、リアクターの温度範囲は30〜200°Cで、長いプロセスでの過熱を防ぎます。VPC-260には、チャンバーにサンスロゲンガスを導入するためのエアロック機構も備えています。エアロックは、プロセスガスがメインチャンバーに到達しないため、汚染のリスクを低減するのに役立ちます。ULVAC VPC-260は、プラズマからイオンやラジカルの高いフラックス密度を生成するだけでなく、低入力エネルギーからの高い電力を生成するのに役立つCDのダブルパルスモードを利用しています。また、低入力エネルギーは、他のプラズマ源と比較して原子炉の電極の摩耗を低減するのに役立ちます。VPC-260は、ポリシリコン、ガラス、ヒ素ガリウムなどの幅広い基板と互換性があることが実証されています。ULVAC VPC-260は、ガスフリーの操作も特徴で、上流のガス処理装置は必要ありません。これは、省スペース設計と操作の容易さのために、特に実験室の設定にあるさまざまなプロセスに最適です。全体として、VPC-260は信頼性が高く汎用性の高いCDリアクターであり、さまざまなプラズマアプリケーションやプロセスに大きな柔軟性を提供します。この原子炉は、高出力、低入力エネルギー、ガスフリー運転により、多くの用途に対応することができます。