中古 ULVAC VEP-1000 #9313810 を販売中

ULVAC VEP-1000は、高スループット化学蒸着（CVD）プロセス用に設計された垂直電子サイクロトロン共鳴（ECR）原子炉です。ECRリアクターはプラズマを作成するために使用され、CVDプロセスに必要なラジカルの供給源となります。VEP-1000は、多くのECR炉の場合と同様に、グラフェン成長などの用途に最適です。ULVAC VEP-1000は、NbFeB永久磁石とアルミコイルハウジングで開発された永久磁石装置を搭載しています。このシステムは、プラズマを原子炉内に磁気的に閉じ込め、プラズマ密度を高め、均一性を向上させます。VEP-1000には、高機能のマイクロ波発電機と電源システムも組み込まれており、静かで安定した安全な運転が可能です。ULVAC VEP-1000には6ポケットの前駆体インジェクタが含まれており、プラズマチャンバーに最大6種類の前駆体を導入することができます。前駆体の射出角度は、プラズマ密度と均一性を制御するために調整することができます。VEP-1000に10。4 nm/sの最高の沈殿率および5から850°Cのプロセス温度較差があります。アルバックVEP-1000は単軸傾斜基板ホルダーと冷却ユニットを内蔵し、プロセスの安定性を高めています。内蔵のウェハ冷却機により、プロセス中に発生する熱を効率的に伝達することができます。VEP-1000の完全なツールは、オープンアーキテクチャに基づいており、他のコントローラ、インストゥルメント、およびユーザーアプリケーションモジュールとの高度な構成と互換性を可能にします。ULVAC VEP-1000は容易に維持されるように設計され、モデルの内部部品を定期的にきれいにし、維持するための自動メンテナンス資産を含んでいます。堅牢な設計と自動化された機能により、信頼性と再現性の高いプロセス結果と長寿命を実現します。VEP-1000の高度なオートメーション機能は、セットアップとメンテナンスの時間を大幅に短縮し、多くのCVDアプリケーションに最適です。