中古 ULVAC SOLCIET #9053849 を販売中

ULVAC SOLCIET原子炉は、スパッタリングとプラズマエッチング原子炉のクラスです。SOLCIETリアクタは、磁気的に強化されたスパッタリングとベッセルイオンソースのプラズマエッチング技術を使用して、高品質のフィルム、ナノ構造、材料を製造しています。この原子炉は、優れたエッチング均一性、究極の加工柔軟性、およびほぼ100％の室内イオンビーム誘導プラズマエッチング制御を提供します。スパッタリングプロセスは、目的の材料と基板を被覆するために原子またはイオンでターゲット材料を爆撃することによって動作します。ULVAC SOLCIET原子炉は、基板に材料を堆積することができるだけでなく、それらをエッチングすることもできます。これは、ベッセルイオン源プラズマエッチングによって達成されます。ベッセルイオンソース技術は、パルス電磁界（EM）を利用してイオンを集中させ、不要な材料を効率的にエッチングします。この技術により、オペレータはエッチング工程で使用されるイオンの量と種類を正確に制御することができます。SOLCIETリアクタは、磁場技術が強化されたスパッタリングおよびベッセルイオン源プラズマエッチングプロセスにより、エッチングにおいて前例のないレベルの均一性を提供します。これは、ナノ構造の製造など、精密なエッチングを必要とするアプリケーションで特に有益です。ULVAC SOLCIETで使用される磁場は、基板表面全体に荷電粒子をより均一に分布させることができ、エッチングの均一性が向上します。さらに、これらの原子炉は、ほぼ100％の室内イオンビーム誘導プラズマエッチング制御を提供することができます。強力な「ネオオプティック」レンズを使用することで、イオンビームを非常に小さなスポットに集中させることができ、エッチング処理を非常に正確に制御できます。これは、小規模または高精度のアプリケーションで特に有用です。ULVAC SOLCIETは非常に柔軟性が高く評価されています。モジュラー設計により、各種対応するULVACスパッタリングとプラズマエッチングモジュールの切り替えが容易になり、各アプリケーションに最適なテーラーメイドのセットアップが可能です。この機能により、パフォーマンスの最適化とコスト効率が向上します。SOLCIETは、高品質のフィルム、ナノ構造、材料を製造するための優れたツールです。その堅牢な技術、汎用性の高い設計、精密エッチング機能により、スパッタリングとプラズマエッチングの分野で有望なトレンドセッターとなっています。