中古 ULVAC Mini-Lab #9313805 を販売中

ULVAC Mini-Lab Reactorは、高効率で費用対効果の高い半導体エッチングおよび成膜装置で、優れた精度で高性能な回路を作成するために使用できます。このシステムは、実験室や生産プロセスに最適な小型軽量ユニットです。Mini-Lab Reactorは、低エネルギーの高速ポリパルス源、広範囲の反応ガスで動作する精密蒸着/エッチングモジュール、および高精度の自動レンズスキャナーを備えています。低エネルギーのポリパルス源は、従来の技術と比較して、より均一なエッチングと蒸着を提供します。このエネルギー効率の高いユニットは、危険性のない化学物質も使用しており、安全で経済的です。自動化されたレンズスキャナには、最大10倍ズームで試験片の表面を検査できる倍率マシンが搭載されており、1つの画像キャプチャ動作でマクロとマイクロの両方の画像をキャプチャします。オートメーションレンズスキャナーの高精度により、欠陥を迅速に検出し、高い精度で成膜を観察することができます。ULVAC Mini-Lab Reactorの汎用性により、幅広いプロセスに使用できます。これには、エッチングと蒸着速度の最適化、プロセス制御、および場合によってはフィルム応力緩和さえ含まれます。さらに、このツールは優れたプロセス再現性と高度に自動化されたワークフローを提供するため、さまざまな半導体製造アプリケーションに最適です。Mini-Lab Reactorの高度な設計により、さまざまなエッチングおよび蒸着プロセスで優れた性能を発揮します。統合設計により、ダウンタイムを最小限に抑え、メンテナンスを簡素化します。また、エネルギー効率が高いように設計されており、消費電力を大幅に削減できます。全体として、ULVAC Mini-Lab Reactorは、優れた精度と再現性を提供する強力で効率的で費用対効果の高いエッチングおよび蒸着資産をお探しのお客様に最適です。コンパクトなデザインと革新的な機能により、ラボと生産プロセスの両方に最適です。