中古 ULVAC EX-650-C16 #9111731 を販売中

ULVAC EX-650-C16は、高度で精密な高真空熱蒸発炉です。高精度・高精度な耐火金属や誘電体の薄膜を堆積するように設計されています。EX-650-C16は、6 x 10-6 Pa以下の圧力で動作する単段UHV熱蒸発装置です。この原子炉には、精密な蒸着速度制御システム、ガス汚染の最小化、さまざまなサンプル形状を使用した高スループットが装備されています。OLEDやMEMSなどの多層薄膜コーティング用途に最適で、非常に低い沈着汚染レベルで優れた層の性能を実現するための使いやすい方法を提供します。ULVAC EX-650-C16は、るつぼベースの蒸着法を利用しており、噴出セルよりも高い蒸着率を実現しています。また、サンプルを真空チャンバーの外にコーティングしながら、サンプルを挿入できる入口ポートを使用して真空の完全性を維持することもできます。この原子炉は、20。0nm/minまでの正確で一貫した蒸着速度と、± 1。6％の優れた全体的な均一性を有しています。EX-650-C16は、汚染トラップ、浄化フィルター、副産物を排出するリスクを低減する効率的な排気システムなど、優れた薄膜結果を提供する複数の機能を備えています。この原子炉は、優れた耐久性と長寿命のためにPEコーティングを施した高精度のステンレス鋼で構成されています。また、停電時の作業室の視認性を向上させる独自のLED照明システムを備えています。ULVAC EX-650-C16は、さまざまな薄膜用途での研究開発のニーズに応えるために設計された、信頼性が高く効率的で費用対効果の高い熱蒸発器です。精密な高真空ユニットで、優れた精度と均一性で薄膜を堆積させるように設計されています。機械の高度な技術は、優れた再現性と低レベルの汚染と一貫した結果を保証します。EX-650-C16は、沈着汚染のリスクを最小限に抑え、優れた薄膜層を実現するための理想的なソリューションです。