中古 ULVAC EX-650-C16 #9053847 を販売中

ULVAC EX-650-C16は、電子部品の製造に使用するハイエンドシリーズ無線周波数（RF）反応イオンエッチャー（RIE）装置です。このシステムは、いくつかの技術の進歩を利用して、比類のないスループットを持つ材料の正確かつ正確なエッチングを提供します。EX-650-C16ユニットは、主要な原子炉室、上層前室、統合されたサンプル積載機、コンピューター制御のガス噴射ツール、後処理プラズマチャンバーで構成されています。主な原子炉室には、2つの16インチポールと1つの8インチポールが装備されており、最大2。3 Torrの真空圧力が可能な2KW RF電源を備えています。これにより、0。1um/minまでの極めて高いエッチング速度を実現します。また、4象限設計に基づく乱流最適化アセットを使用しており、エッチングパターン形成の均一性を高めています。上層プレチャンバーは、3つの電極ピンを備えた2レベルのプラズマ最適化モデルを使用して、繊細な材料や基板の精密で高速なエッチングを実現し、主要な原子炉室よりもさらに高いエッチング率を誇っています。統合されたサンプルローディング装置は、自動距離、固定およびオリエンテーション制御機能により、サンプルの変更を容易にします。また、敏感な材料を扱うための安全な環境も提供します。ULVAC EX-650-C16の先進的なガス噴射システムにより、原子炉内圧力室への化学物質の正確な体積制御と導入が可能です。このユニットは、よりエキゾチックな材料や層状基板のエッチングの正確な最適化を可能にします。最後に、後処理プラズマチャンバーは、最大6 Torrの圧力が可能な25インチのUVランプを2つ使用し、高精度の後処理を可能にします。EX-650-C16のこれらの機能のすべては、業界で現在入手可能なすべての原子炉の最も一貫して正確で正確なエッチングプロファイルの1つを提供するRIEマシンを作成するためにチームを組んでいます。