中古 ULVAC EX-550-C10 #9078375 を販売中

ULVAC EX-550-C10は高性能プラズマ強化化学蒸着炉（PECVD）で、幅広い用途に対応する材料を堆積するように設計されています。この原子炉は、シンプルで耐久性のあるステンレス製のチャンバーと、使いやすさのためのフルコンピュータオートメーションを備えており、高品質で反復可能な結果を可能にします。この原子炉には、最先端の電子サイクロトロン共鳴（ECR）プルームエンベロープが装備されており、最大の均一性、加工速度の向上、層質の向上を実現しています。ユニークなECR構成は、非常に均質なプラズマ源と非常に制御されたエネルギー環境を可能にし、材料の安定した核化と材料特性の保持を促進します。最大基板温度450°Cで直径5。7インチまでのウェーハ加工が可能です。ULVAC EX 550-C10は、リアルタイムプラズマイメージングやオンボード光放射分析（OES）システムなど、包括的な自動プラズマ診断機能を備えています。これにより、プラズマ条件の包括的な監視が可能になり、プロセスの歩留まりを最大化し、層の品質を向上させます。さらに、バックサイドガス導入のGASBOX可変レベルは、堆積率をさらに最適化することができます。この原子炉の他の特徴には、高度なパルス制御を備えたソリッドステート発電機、自動チャンバークリーニング、および膜厚モニターがあります。これにより、基板の加熱と冷却、基板の動きを正確に制御し、反復可能なプロセスを提供します。全体として、EX-550-C10は、多数のアプリケーションのための高品質のフィルムの堆積のための費用対効果の高いソリューションを提供します。