中古 ULVAC ED-60000-D14 #9053842 を販売中

ULVAC ED-60000-D14は、さまざまな研究用途向けに設計された先進的なエッチング炉です。内径6インチのプロセスチャンバーを備え、1400°Cまでの幅広い基板加工が可能です。さらに、高度な圧力制御装置と高速ガスシャワーを備え、精密で一貫したエッチングプロセス制御を保証します。ED-60000-D14は、Si、 SiO2、 GaN、 GaAs、およびその他の材料を含むさまざまな基板のエッチングプロセスで優れた性能を提供するように設計されています。最高温度1350°Cまでの材料加工が可能で、高い精度で再現性のあるエッチングが可能です。この原子炉はまた、アルバック独自のガスシャワーを備えており、プロセスチャンバ内の望ましいガス組成を迅速に保証します。これにより、エッチングプロセスの制御が強化され、バッチ・ツー・バッチの均一性が向上します。ULVAC ED-60000-D14は1,400リットルのプロセスチャンバーを持ち、最大15 torrの低圧で動作します。これにより、エッチング精度を維持しながらサイクルタイムを短縮できます。さらに、高速ガスシャワーは、正確なエッチング制御のための均一で安定したガス環境を保証します。コンピュータ制御の圧力制御システムは、複雑なパターンや複雑な構造の高品質な生産のための均一で安定したエッチング率を可能にします。チャンバーの壁の温度を下げるために、ED-60000-D14は高められた絶縁材のジャケットと設計されています。この機能は、エッチング処理による熱損失を最小限に抑えるのに役立ちます。また、プロセスチャンバーの温度均質性と制御性を向上させ、プロセスウィンドウを改善しました。統合されたHeTCAコールドトラップは、ガスユニットの性能をさらに向上させ、20mTorr以下のクリーンガス環境を提供します。ULVAC ED-60000-D14はまた長い寿命の操作および所有権の低コストのために設計されている高度の真空ポンプ機械を提供します。このツールは、ダイアフラムポンプ、分子ドラッグポンプ、ブースターターボポンプを使用して、20mTorr以下の基圧を実現し、正確なガス制御およびエッチング条件を可能にします。安全面では、ED-60000-D14は高度な安全資産を備えています。複数の故障検出システムを備えており、排気ガス異常、アーク、加熱手順異常などのプロセスチャンバーの問題を検出するように設計されています。このモデルは、自動環境監視とフォルトブロッキングも実行します。また、アルバックED-60000-D14には液体窒素冷却装置が設置されており、室温の異常を避け安全な運転を実現しています。結論として、ED-60000-D14は研究用途向けに設計された高度なエッチング炉です。6インチプロセスチャンバーを備え、1400°Cまでの幅広い基板加工が可能です。アルバックED-60000-D14は、高速ガスシャワーと精密エッチング工程制御用の圧力制御システムも搭載しています。さらに、液体窒素冷却装置や、異常なチャンバー温度、アーク、ガス漏れを検出するモニタリングマシンなど、多くの安全機能が組み込まれています。最後に、ED-60000-D14にはダイアフラムポンプ、分子ドラッグポンプ、および効果的な真空メンテナンスのためのブースターターボポンプも含まれています。