中古 ULVAC EBX-8C #9397455 を販売中

ULVAC EBX-8Cは、薄膜業界におけるアプリケーション向けのシングルエンド、バッチ処理、高反応性機器です。この原子炉は、結合、スパッタリング、薄膜形成、化学蒸着（CVD）、プラズマ強化CVD （PECVD）などの幅広いプロセスに使用されています。システム独自のグラフィカルユーザーインターフェイスであるUwinTMにより、プロセスパラメータを迅速かつ簡単にプレビューできます。EBX-8Cはマイクロプロセッサ制御の直径300mm （1。2インチ）の反応チャンバーを備えており、300mmの開放型エレクトロスラグサンプルチャンバーを備えています。このユニットの複数のプロセスチャンバーは、効率的かつ高スループット処理を可能にし、優れた環境適合性を提供します。ULVAC EBX-8Cのマルチゾーン温度管理マシンは、密接に安定したプロセスパラメータ下で高品質の薄膜を保証します。EBXには、調整可能な周波数制御1300 Wの直流RFジェネレータも含まれており、最大300MHzのチューニング範囲を可能にします。EBX-8Cは、液晶ディスプレイ上で酸素と塩素硝酸塩を素早く監視する高精度のガス供給ガス分析ツールを備えています。ULVAC独自のオプションのアセットコントローラは、空気と水のインターロック、リアクタントガスフロー測定、露点制御、真空および圧力制御など、幅広い高度な制御機能を提供します。EBXには、避難した移動室とロードロックモデルがさらに装備されています。これにより、ほこりのない環境が確保され、反応チャンバが外部環境に露出するのを防ぎ、EBXは欠陥の少ない処理に最適です。ULVAC EBX-8Cは、7つの主要規格との互換性のためにEMCテストを受けており、さまざまなCEアプリケーションで認定されているため、安全な産業アプリケーションに最適です。安全性を確保するため、EBX-8Cは他のバッチスパッタリングシステムのULVACシリーズと多くの機能を共有しています。これには、空気と水のインターロックシステム、緊急シャットダウンスイッチ、真空インターロックが含まれます。ULVAC EBX-8Cの20のプログラム可能な機能制御装置はまたユーザーがプロセスの必要性に適するために原子炉の変数をさらにカスタマイズすることを可能にします。結論として、EBX-8Cは、高精度の薄膜プロセスの範囲を処理するために設計された、生産性が高く、汎用性の高い反応システムです。そのユニークなグラフィカルユーザーインターフェイスは、高度な安全機能と高度なプロセス制御システムの範囲と相まって、それはバッチ処理アプリケーションの範囲のための理想的なソリューションになります。