中古 ULVAC EBX-8C #9053841 を販売中

ULVAC EBX-8Cは、特定の産業用途向けに設計された低圧電子ビーム（EB）原子炉です。精密で高精度な薄膜成膜を実現する、コンパクトなインライン・中型EBコーティングシステムです。EBX-8Cは、高度に合理化された設計、低消費電力、小型フットプリントなどの優れた機能を備えた高性能リアクタです。ULVAC EBX-8Cは、低真空圧と高真空圧の両方で動作し、10⁻¯6から5.0E-4までの真空圧力に達するプロセスチャンバーを使用することができます。これにより、均一性や層の厚さなどの堆積パラメータを正確に制御できます。この原子炉はまた、10⁻¯7 Pa以下の極めて低い塩基圧を備えています。これにより、プロセスチャンバー内の残留圧力の干渉が低く、粒子軌道がほぼ等しくなります。EBX-8CはEBソースを使用しており、ガンアセンブリに接続されており、所望のワーキングガスで満たされた特別なチャンバーに供給されます。EBソースは、フィラメント、制御グリッド、加速距離、およびコレクタ電極で構成されています。EBソースは、最適なフィルム蒸着に必要な電圧とエネルギーレベルを提供するために調整することができます。加速距離は調整可能で、ビームエネルギーを微調整できます。プロセスチャンバー内では、焦点レンズやタレットなどの光学部品を使用して、EBビームをワークに向けます。ワークは回転可能な基板ステージに配置され、真空クランプシステムで所定の位置に保持されます。バッフルプロセスチャンバーは、アスペクト比の高い困難な形状でも、堆積膜の高い均一性を保証します。ULVAC EBX-8Cは、完全に自動化されたプロセス操作と高度な制御エレクトロニクスを備えています。インタラクティブプログラマブルロジックコントローラ（PLC）は、加速と合計加速時間のための4つの異なる動作モードを提供します。また、温度、背圧、チャンバー圧力など、いくつかの安全制御を提供しています。EBX-8Cは8 kWの電力定格を持ち、0〜380Cの温度範囲で動作できます。アルバックEBX-8Cには、追加レンズ、ワークピースホルダー、保護シールド、冷却システム、ターゲットステージなど、幅広いアクセサリーやスペアが装備されています。これにより、EBX-8Cの信頼性と効率的な運用とメンテナンスが保証されます。