中古 ULVAC EBX-10D #9102139 を販売中
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ULVAC EBX-10Dは、高出力プラズマプロセスを備えた多機能、第3世代のEBプラズマソースであり、幅広い用途に適しています。この原子炉は、非常に高温のプラズマを生成することができます。電子ビーム（EB）と外部から供給された電子を10 MeVのエネルギーで組み合わせて駆動します。EBX-10Dは低電圧電源を備えており、非常に高い電子ビーム加速力を供給することができます。ULVAC EBX-10Dは、高出力プラズマプロセスに加えて、スパッタリング、エッチング、レイヤリング、反応イオン交換種の生産など、さまざまなプロセスを実行することができます。さらに、EBX-10Dは非常に広い範囲の制御設定を提供します。これにより、プロセスのカスタマイズ性が向上し、プロセスの制御と最適化が可能になります。緊急連結システムと過電圧保護を備えているため、安全性を念頭に置いて設計されています。ULVAC EBX-10Dは、メインチャンバー内で最大15,000ºCの温度を達成することができます。それはプラズマ形成の連続的な眺めを可能にする部屋の外側に水晶窓が装備されています。また、この原子炉は環境制御システムを備えており、プロセス環境の整合性を保つことが容易になります。EBX-10Dはモジュール設計のために非常に適応可能であり、それに取り付けることができるさまざまな交換可能なコンポーネントを可能にします。リアクターには回転モータが搭載されており、スパッタリングやエッチング工程で基板を回転させることで、より均一な蒸着を実現しています。また、ULVAC EBX-10Dは超高スループット設計を採用しており、非常に高い負荷容量を可能にし、大量の基板を処理できるリアクタに最適です。EBX-10Dは費用効果が大きいです、産業適用のためにそれを魅力的にさせます。安全で信頼性が高く信頼性が高いため、幅広い産業ニーズに最適です。幅広いプロセスを管理できるだけでなく、産業プロセスにおいて非常に重要なカスタマイズ性を可能にする優れたレベルの制御をユーザーに提供します。
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