中古 ULVAC EBX-10D #293621576 を販売中

ULVAC EBX-10Dは、原子炉基板の処理中に高真空環境を作り出すために設計された、惑星ギアタイプの2段ターボ分子真空ポンプシステムです。EBX-10Dは、プラネタリギアの優れた性能とターボ分子ポンプを兼ね備えており、半導体、光学ディスク、ディスプレイ産業における要求の厳しい真空プロセスに最適です。ULVAC EBX-10Dは、2段スロットル式ターボポンプを採用しており、3。2 x 10-2 Paリットル/秒の真空ポンプ速度を実現し、5 x 10-7 Pa TM （Torr）の究極の圧力を実現しています。これは可変コントローラーの採用によって達成され、EBX-10Dはそのクラスの他のターボ分子ポンプの中で最速になります。可変コントローラは、ターボポンプの最大回転速度を400 r/minから1200 r/minまで調整し、優れた柔軟性と性能を実現します。また、ULVAC EBX-10Dには、ターボポンプの回転入口でのトルク変動を抑制し、振動を低減する高性能プラネタリ減速機を搭載しています。この機能は、モータ速度が急速に変化しても安定した動作を保証します。さらに、プラネタリギヤはモーターの騒音を低減し、静かな動作とチャンバー内部への負荷を低減します。さらに、EBX-10Dは、操作とメンテナンスをできるだけ簡単にするように設計されたさまざまな機能を提供しています。内部ファンアセンブリはクリーニングのために容易に取除くことができ排気温度は過熱を防ぐために監視されます。潤滑油の貯水池は容易にアクセスし、補足することができコントローラーはポンプの外的な、内部温度両方を監視します。また、ULVAC EBX-10Dには液晶ディスプレイ（LCD）やセーフティバルブなど、さまざまな安全機能が組み込まれており、常にユーザーの安全を確保しています。全体的に、EBX-10Dは優れた性能とメンテナンスの容易さを提供する優れた原子炉システムです。それは挑戦的な真空プロセスを扱うために理想的であり、印象的な速度および低い振動機能は信頼でき、一貫した操作を保障します。さらに、その賢明な安全対策により、あらゆる原子炉システムにおいて最先端の選択肢となっています。