中古 ULVAC EBS-10A #9053858 を販売中

アルバックEBS-10Aは薄膜成膜に適したスパッタ装置です。これは、真空ポンプで生成された真空にターゲット材料を導入する反応スパッタリングプロセス上で動作します。ターゲットは高電圧電源に接続されているため、電圧を印加するとターゲット材料がスパッタします。EBS-10Aは、自動化された自己設計の操作パネルを備えた使いやすいシステムで、ユーザーは時間を節約し、実験の実行を強化することができます。これは、ユニットに実装された自動、高レベルのコマンドと自己診断機能を通じて達成されます。ユーザーインターフェイスには、直感的なグラフィカルデザインとシンプルなナビゲーションコマンドがあります。ULVAC EBS-10Aは、基板上に最大13mmの薄膜を生成することができる、大きな効果的な堆積面積を有しています。これは、3D-structuresとの最適な互換性を可能にする3ガンパラレルDC-DC反応スパッタリングマシンを使用しています。EBS-10Aは、安定性を高めるためのコンパクトで強力な設計を備えた堅牢なツールです。これにより、長時間にわたる信頼性と再現性の高い薄膜蒸着が保証されます。このアセットは、高価な消耗品を使用せずに、複雑な薄膜の高品質な堆積物を提供することもできます。ULVAC EBS-10Aは、高速蒸着にオフアクシス型スパッタリングチャンバーを採用しています。このチャンバーには、マスフローコントローラと循環プレナムモデルが装備されており、幅広いスパッタリングガス混合物と速度、ならびに大型基板容量を可能にします。EBS-10Aは、最適な薄膜蒸着のための調整可能なパラメータのホストを持っています。この装置は、調整可能な圧力と温度を備えたプロセス領域を備えており、望ましい結果を得るためのすべてのパラメータの最適化を可能にします。さらに、ユーザーはスパッタリングガスタイプ、堆積起源、パワーレベル、および厚さを調整することができます。ULVAC EBS-10Aは、多くの薄膜成膜作業に適した強力で汎用性の高いシステムです。低保守を必要とし、最適で品質の高い結果を出すために幅広い制御パラメータを必要とするユーザーに最適です。