中古 ULVAC EBH-6 #9053833 を販売中

「ULVAC EBH-6」は、半導体基板上の薄膜層の精密かつ効率的な蒸着を可能にするために設計されたプラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉の高性能、環境に優しく、経済的なシリーズです。この一連の原子炉は、高いエネルギー効率と低い動作温度で豊富なプラズマを利用して、一貫した最適化された堆積結果を提供します。さらに、EBH-6シリーズは、酸化物、窒化物、有機薄膜などの無機プロセスと有機プロセスの両方を効果的に堆積させるために使用することができます。ULVAC EBH-6シリーズは、ユーザーが蒸着プロセスを正確に制御できるように、豊富な機能を備えています。これには、リアルタイムとポストプロセスの両方の蒸着結果を測定する高精度の石英モニターと、蒸着速度と膜厚を正確にエネルギー制御する独自のコンピュータ制御アークバイアスシステムが含まれます。内蔵の圧力制御システムにより、圧力、温度、ガス流量を調整し、プロセスの安定性と再現性を最適化できます。EBH-6シリーズは安全性を考慮して設計されています。モバイルアルミニウムインジェクタは、圧力や温度制御などの統合された安全システムと地上障害保護を備えた使いやすいインターフェイスを提供します。水冷電極の周りにファラデーケージを使用することで、プラズマによって生成されるEMIから保護されます。さらに、内蔵の安全機能により、緊急時のロックダウン中でも真空システムを完全に制御できます。さらに、ULVAC EBH-6シリーズは、効率と費用対効果を最適化するための複数の運用モードを提供します。これにはスタンバイモードと省エネモードが含まれ、オペレータは電力消費を大幅に削減し、異なるジョブの生産速度を調整することができます。これらの機能により、コスト削減に関してEBH-6は非常に競争力があります。全体的に、ULVAC EBH-6シリーズは、効率的で経済的な薄膜蒸着ソリューションをお探しの方に最適です。高性能、高精度、および環境に優しいので、一貫した、良質の結果を提供するために信頼することができます。