中古 ULVAC CME-400ET #9279188 を販売中

ULVAC CME-400ETはPVD/CVD、エッチング、および他の適用のために設計されている高性能の基質ectroplating炉です。この原子炉は高速運転が可能であり、最大200mmまでのキャリア基板に高品質の堆積物を生成することができます。ラミネーションロケータ装置を搭載しており、エッチング工程中の正確なエッチングとパターン移動を保証します。このシステムによって提供される速度と精度は、薄膜と均一な膜の堆積を可能にします。CME-400ETは、低温アーク持続技術を使用して基板表面温度を制御します。これは、プロセス速度と堆積膜の均一性と品質の両方に影響を与えます。アーク持続技術により、基板上の不要な熱応力が回避されます。これは、高度なセンサや高精度の電子部品にとって特に重要です。ULVAC CME-400ETには、高真空チャンバーと革新的なガス流量管理ユニットが装備されており、プロセスガス組成物の優れた清浄性と正確な制御を提供します。この高度な原子炉は、幅広い温度範囲で優れたプロセス性能と一貫した基板表面品質を保証します。高性能非反応プロセスをさらに容易にするために、CME-400ETには静電容量電圧制御装置が取り付けられています。ULVAC CME-400ETにはユニバーサルリモートコントローラが装備されており、チャンバー条件の監視、データロギング、パラメータ調整が容易に行えます。このツールは、電流、ガスの流れ、室温などのパラメータを調整できるため、めっきプロセスをより正確に制御する必要がある研究者に最適です。全体として、CME-400ETは様々な用途や基板の要件を満たすための柔軟性を備えた信頼性の高い高性能リアクタです。その優れた速度と一貫性により、この強力な資産は、熱応力がほとんどなく、さまざまな基板上に薄膜を堆積させることができます。インテリジェントな設計により、プロセスパラメータの正確な制御が容易になり、ユーザーはリアルタイムで条件を調整して監視し、可能な限り最良の結果を得ることができます。