中古 ULVAC CME-200J #293810220 を販売中
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ID: 293810220
ヴィンテージ: 2008
PECVD System
Chamber
Controller
(4) Gas boxes
(7) Pumps
Gas scrubber
Accessories
Manuals
Power supply
PC
2008 vintage.
ULVAC CME-200Jは、蒸着プロセス用に設計されたデュアル周波数産業プラズマ炉です。13。56MHz （DCマグネトロンタイプ）と2。45GHz（単一周波数タイプ）の2つの周波数を備えています。リアクターは、最大9インチウェーハ基板を加工することができ、材料の開発からウェーハレベルの生産まで、さまざまなニーズに容易に適応することができます。プロセスガスの混合比を正確に制御できるプロセスガスミキサーを搭載し、精密な蒸着制御が可能です。また、自動パワーコントロールシステムとガスフローコントローラを備えています。この原子炉は、容積11.2Lと電極直径200mmの円筒形のチャンバーを備えており、幅広いエッチング、成膜、アッシング用途に適しています。また、リモートマッチングネットワークを備えており、運転中の安定したプラズマ環境を維持しながら、負荷マッチング精度を向上させます。さらに、原子炉は、チャンバー表面とのプロセスガスの反応を防止するために、不透過性、耐腐食性表面を確保するためにエナメル化されています。原子炉はターボ分子ポンプを使用してチャンバー内に真空を作成し、1×10-3から1×10-7までのチャンバー圧力を直接制御することができます。また、チャンバー内のベース圧力を正確に制御できる圧力イコライゼーション機構が装備されています。さらに、プロセス制御ソフトウェアに統合された同時反応制御技術を利用しています。これにより、バッチ処理中でも安定した一貫したプロセス性能が保証されます。安全のために、CME-200Jは圧力スイッチによって監視される圧力点検およびロックアウト、沈黙モードおよび真空ポンプのようなさまざまな保護特徴が装備されています。チャンバーアクセス用の安全インターロックやヒートモニターなどの安全対策も備えています。さらに、チャンバー内で最大+50°Cの温度範囲で動作するように設計されており、さらに安全な動作を確保するための排熱低減技術を備えています。結論として、ULVAC CME-200Jは、蒸着プロセスと複数のウエハ基板処理用に設計された強力で信頼性の高い産業用プラズマ炉です。蒸着プロセスを精密に制御するためのさまざまな自動プロセス制御を備えており、常に安全な動作を確保するためにいくつかの安全機能を備えて設計されています。
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