中古 TOSHIBA / NUFLARE EGV-28GX #9069032 を販売中

TOSHIBA/NUFLARE EGV-28GXは、さまざまな電子アプリケーションで使用するために設計された超高エネルギー電子ビーム炉です。28m2 （28cm2）のアクティブエリアと最大40kVの出力ビームを備え、フォトレジスト、ディスプレイパネル、ウェーハ処理などの幅広いマイクロエレクトロニクスでの使用に最適です。その高エネルギー電子ビームは、プラズマ補助プロセスを介してエッチング、洗浄、沈着、焼結のためのプラットフォームを作成します。東芝EGV-28GXは、シングルビームおよびマルチビームスキャンシステムと比較して優れたビーム安定性を有するマルチレベルレーザーベースの光学ラインスキャン（OMS）システムを採用しています。マルチレベルOMSユニットは、2つの独立した制御システムで構成されています。1つはレーザーエミッタを制御するためのもの、もう1つは電子ビームを制御するためのものです。さらに、NUFLARE EGV-28GXには複数のレーザー集光モードがあり、平方ミリメートル範囲の小さな特徴をエッチングまたはパターン化するための最高の解像度と精度を提供します。EGV-28GXは、均一なエネルギー分布とより精密なエネルギー蒸着プロファイルを作成するためにタングステンメッキフィルムガンを利用して、プロセスの生産を最適化します。静電容量制御されたイオンブロッキング集積電子銃は、一貫した低収差の電子ビームを提供し、プロセスの均一性を向上させます。さらに、バックサイドガスコレクタは完全なフラッシュエッチング処理を可能にし、イオン汚染のリスクを排除します。高度なコンピュータコントロールマシンは、プロセスパラメータ選択の面で大きな柔軟性を提供し、研究者はシングルストロークまたはパルス操作と他の利用可能なプロセスパラメータの間で自由に選択することができます。TOSHIBA/NUFLARE EGV-28GXで利用可能な幅広いパラメータモディファイヤと使いやすいグラフィカルインタフェースにより、精密なウェーハ処理に最適です。TOSHIBA EGV-28GXは、均一な処理を提供する非常に信頼性の高いツールです。その小さなフットプリントと汎用性は、あらゆる研究室や研究施設に最適な資産です。NUFLARE EGV-28GXは、精度と高度な機能を備えており、電子ビームリソグラフィおよび処理アプリケーションにおいて急速に最先端の選択肢となっています。