中古 THOMAS SWAN / AIXTRON CCS #293630290 を販売中
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THOMAS SWAN/AIXTRON CCSは、化合物半導体産業における複雑で複雑な材料の堆積のために特別に設計された最先端の化合物半導体炉です。AIXTRON CCSは安全なレベルのフラックス制御を提供し、PI制御のクローズドサイクル動作を通じて、正確で繰り返し可能な接点、機能、パターンを作成できます。この安全なフラックス制御は、THOMAS SWAN CCS独自の分岐パスアーキテクチャによって提供される直接熱流制御によるものです。また、CCSは幅広い制御可能なプロセスパラメータを誇り、強力な成膜ツールとなっています。1000°Cまでの温度範囲と4000 Torrまでの圧力を提供し、膨大な量の精密結晶とフィルムの堆積物を可能にします。さらに、THOMAS SWAN/AIXTRON CCSの優れたガス配送ネットワークを通じて、プロセスガス配送を正確に変調および監視します。プロセスガスの圧力、温度、流れを制御することで、ユーザーは目的の沈殿物を正確に正確に制御できます。さらに、AIXTRON CCSには、高度な光学および計測解析ツールが搭載されており、インラインの生産結果を容易に監視および記録することができます。光放射分光法（OES）やリアルタイムエラスタンスベースの層の厚さ測定などの機能により、プロセスをリアルタイムで制御することができ、複雑で複雑な機能を作成することができます。結論として、THOMAS SWAN CCSは、化合物半導体材料の堆積のための強力で高精度な原子炉です。その安全なレベルのフラックス制御と制御可能なプロセスパラメータの範囲は、複雑で複雑で精密な堆積物を作成することができます、その光学および計測分析ツールは、生産プロセスのリアルタイム制御と監視を可能にします。
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