中古 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #293763037 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triase+は、先進的な半導体製造プロセスに対応する最先端のプラズマ加工装置です。半導体デバイスの製造において、高性能、高精度、信頼性を実現するための先進技術と革新的な機能を搭載しています。TEL Triase+リアクターは、高密度プラズマ源を利用して、制御されたプラズマ環境を生成し、正確な材料エッチングと蒸着プロセスを維持します。このシステムは、無線周波数（RF）とマイクロ波エネルギー源の組み合わせを統合して、高品質で一貫した処理結果に必要なプラズマ密度と均一性を実現します。原子炉室は、処理中に発生する過酷なプラズマ環境や高温に耐える高度な材料で構成されています。チャンバーの設計により、基板表面全体にプロセスガスとプラズマエネルギーを効率的に分散させ、均一な処理と最小限の粒子汚染を実現します。TOKYO ELECTRON Triase+リアクターの特徴の一つは、プロセスのパラメータをリアルタイムで監視・調整し、処理結果を最適化する高度なプロセス制御ユニットです。この機械には高度なセンサーとフィードバック機構が組み込まれており、プロセス全体でプラズマパラメータ、ガス流量、温度条件を正確に制御できます。Triase+リアクターは、プロセスガスとその流量を正確に制御するための高度なガス供給システムの範囲を備えています。このツールは、さまざまなエッチングおよび蒸着プロセスに必要なさまざまなプロセスガスや前駆体に対応でき、プロセス開発と最適化の柔軟性を実現します。この原子炉はまた、処理中の基板の正確な位置決めと制御を保証する最先端の基板処理アセットを備えています。高精度かつ再現性に優れた大型基板の加工が可能で、複数基板にわたって一貫した加工結果が得られます。TEL/TOKYO ELECTRON Triase+リアクターは、ディープシリコンエッチング、誘電エッチング、金属エッチングなど、高度な半導体製造プロセスの厳しい要件を満たすように設計されています。この装置は、高い選択性と均一性で高いアスペクト比エッチングを実現することができるため、設計仕様の厳しい複雑な半導体デバイスの製造に最適です。TEL Triase+リアクターは拡張性を念頭に置いて設計されており、複数のプロセスモジュールを統合することで、プロセス開発のスループットと柔軟性を高めます。また、このシステムは、半導体業界の将来のプロセス要件と技術の進歩に対応するために容易にアップグレードできるように設計されています。TOKYO ELECTRON Triase+は、先進的な半導体製造アプリケーション向けに高性能、高精度、信頼性を提供する最先端のプラズマ処理ユニットです。先進的な技術、革新的な機能、堅牢な設計により、Triase+リアクターは、半導体産業の進化する需要に対応し、半導体デバイス製造の革新を促進するのに適しています。