中古 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #293762161 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triase+は、アモルファスおよび微結晶シリコン薄膜太陽電池の製造用に設計された最先端の原子炉です。この原子炉は、業界最高の結果を達成するための正確で制御された環境を提供します。TEL Triase+は、3段階の多段式熱プロセスを備えており、正確な温度制御と、非常に均一で反復可能なプロセスを提供する急速で均一な加熱を可能にします。また、反応ゾーンを均一に照射するための特殊なビーム形成光学機器と、基板全体の温度が均質であることを保証する多波長赤外線加熱システムを備えています。TOKYO ELECTRON Triase+には、複数のガスを同時に導入できる複数の供給ガスユニットが装備されており、反応雰囲気をより正確に制御し、より均一なプロセスを作り出すことができます。また、異常な加熱または冷却状況が発生した場合には、原子炉をシャットダウンするように設計されたアクティブセーフティマシンも備えています。この原子炉は高度なプロセス制御自動化機能も備えており、レシピをユーザーのプロセス要件に合わせてカスタマイズすることができます。このツールはまた、直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、プロセスパラメータを簡単に操作および監視できます。Triase+の反応チャンバーは、製造される薄膜の最適な均一性を確保するように設計されています。バランスの取れた流量、低圧範囲、反応室内の温度分布を最適化しています。TEL/TOKYO ELECTRON Triase+は、独自のデザイン機能により、柔軟性と信頼性を高めます。TEL Triase+は高い生産率、制御可能な条件および均一なプロセス結果の有効で、有効な原子炉です。TOKYO ELECTRON Triase+リアクターは、高品質で薄膜太陽電池材料を製造するために、非常に正確で使いやすい資産を提供しています。この原子炉は、非常に小さなパッケージで最大の効率を得るために構築されており、選択されたプロセスパラメータ内で生産プロセスと信頼性の高い動作において高いレベルの均一性を維持しています。