中古 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #293628645 を販売中

TEL （TOKYO ELECTRON） TEL/TOKYO ELECTRON TRIASE+は、プロセス機器のリーディングメーカーであるTEL/TOKYO ELECTRONが製造する先進的な半導体集合型垂直炉です。TEL Triase+は、従来の垂直炉モデルよりも多くの機能強化を備えた、少量生産と大量生産の両方に最適な多目的ツールです。TOKYO ELECTRON TRIASE+には、グラファイトチャンバーの改良設計やダブルゾーン温度制御によるウェハ温度制御の改善など、独自の技術が組み込まれており、温度の均一性を最大化しています。改善されたグラファイトの部屋の設計はウェーハの表面全体のガスの流れそして温度の均等性を増加させ、より少ない周期の増加の歩留まりを提供します。ダブルゾーンの温度制御により、上部温度と下部温度の両方を独立して制御でき、オーバーコートの均一性と密度が向上します。また、TEL独自の自動アームプレート調整機能により、ウェーハの高さを自動調整し、人件費を削減し、スループットを向上させます。TEL/TOKYO ELECTRON Triase+のAdaptive Process Control （APC）装置は、正確で一貫したプロセス制御を提供します。APCを使用すると、ユーザーはレシピ要件に合わせて特定のデュアルチャンバー温度プロファイルを設定できます。このシステムは、レシピの調整を自動的に行うことができ、熱ラグや異なるウエハサイズなどの要因によるプロセスの変動を補うことができます。TEL Triase+は操作が簡単な設計で、プロセスアプリケーションの面で高い柔軟性を提供します。統合されたレシピエディタを使用すると、ユーザーは特定のプロセスのカスタムレシピを作成および編集でき、サイクルタイムが短縮されます。TOKYO ELECTRON Triase+は、アクティブクーリングユニットや炉室内排気機などの安全性の向上により、より安全な作業環境を提供します。全体として、Triase+は半導体メーカーにとって貴重なツールです。その先進的な技術と革新的な機能により、少量生産と大量生産の両方に最適です。柔軟なプロセス制御とレシピエディタ、安全性の向上により、あらゆる施設にとって貴重な資産となります。