中古 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ SPA #9252463 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Triase+SPAは、ナノ構造と薄膜増殖に特化した原子炉です。この原子炉は、TEL先進プラズマ化学蒸着（CVD）システムの1つです。5nm/minimumまでの成膜速度を提供し、優れた品質、および低温湿潤、熱および大気プロセスを提供します。特許取得済みのTEL Triase+SPA設計により、ナノ構造のフィルムや非常に細かい特徴を持つ超滑らかな表面の製造が可能になります。TOKYO ELECTRON Triase+SPAは、プラズマを最適に制御する独自の平面マグネトロン設計を採用しています。これにより、純粋かつ低欠損密度フィルムの効率的かつ再現性の高い製造が可能になります。さらに、この装置には、20°Cから500°Cまでの基板を加熱するためのサーマルソースキットも用意されています。Triase+SPAは、直径8インチまでの基板を取り扱うことができ、均一なサンプル温度を確保し、サンプルの意図しない蒸発を防ぐためにアルミニウム製のヒートシールドを供給しています。TEL/TOKYO ELECTRON Triase+SPAは、低温ウェットクリーニングプロセスにも使用できます。このシステムには、ウェットクリーニングソリューションを制御するための遠心分離機、リザーバ、マニホールド配送ユニットが装備されています。さらに、この機械は、急速なサーマルアニーリング（RTA）、酸化、窒化、基板のリン酸化などの大気および乾燥処理も可能です。TEL Triase+SPAは、ナノ構造と薄膜を製造するための効率的で強力なツールです。その信頼性と再現性の高いプロセス性能は、高品質のフィルムの生産を保証します。さらに、このツールの高度な制御機能は、資産運用中に最適な基板とガスの均一性を提供します。これにより、原子炉は様々な蒸着およびアニーリング用途での使用に理想的です。