中古 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ EX-II Ti/TiN #293802350 を販売中

TEL Triase+EX-II Ti/TiNは、東京エレクトロンが設計・製造した汎用温度制御コアレス化学蒸着（CVD）炉です。これは、従来のCVDシステムに関連する汚染を避けながら、窒化チタンの厚いまたは薄い均一な膜を生成するのに最適な高性能リアクターです。EX-IIは高精度の温度調節器が装備されており、0°Cから1500°Cまでのフィルム成長温度を正確に制御できます。コアレス設計により、他のシステムと比較して優れた熱均一性を提供しながら、ロープロファイルの設置とガスの均一性の向上を可能にします。原子炉は1000ワットの発熱体によって動力を与えられ、安定した、一貫した暖房環境を保障します。これは、均一なガス環境と組み合わせることで、Ti/TiN膜が一貫して厚くまたは薄く、最適な電気特性を提供する方法です。温度調節器はまたよりよい温度の安定性および正確さを保障し、改善された粒子形成および保持および少数の沈着の欠陥をもたらします。また、EX-II Ti/TiN炉は高効率であり、廃棄物はゼロであり、追加の冷却装置は必要ありません。また、水素、アルゴン、窒素混合物などのさまざまなガスとも互換性があります。この原子炉は、薄膜トランジスタ製造、電子パッケージング、高出力管理、フィールド効果トランジスタなど、さまざまな用途に最適です。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Triase+EX-II Ti/TiNは、優れた温度制御とエネルギー効率で、窒化チタンの均一な膜を生成するための理想的なCVD炉です。このシステムのコアレス設計は、ロープロファイルの設置に最適であり、比類のない精度で一貫したフィルム成長温度を提供します。この原子炉の効率的な設計は、追加の冷却装置の必要性を排除し、様々なガスと互換性があります。EX-II Ti/TiNにより、成膜欠陥が少なく、優れた薄膜特性を実現できます。