中古 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ EX-II Ti/TiN #293638914 を販売中

TEL Triase+EX-II Ti/TiNは産業用に設計された原子炉です。酸化、還元、エッチング、沈着、表面処理などの化学プロセスを行うために使用されます。24 ″のプラズマ陰極チャンバーを備え、角度付きミラー構成により、広い領域での蒸着速度と厚さの均一性を実現します。気密性の高いセラミック断熱壁を有し、オプションのセラミックフタにより熱制御と低蒸発率を実現しています。その6方向調整可能なガス制御バルブは、最大32ガスの流量制御を備え、合計25プロセスガスを提供することができます。最大500Wの出力を持つデュアル独立したRFジェネレータは、蒸着および表面処理の均一性のための滑らかで反復可能なプロセスを保証します。Triase+EX-IIは、プリロードされたプロセスレシピ、高度な診断機能、視覚監視機能を備えた高度なソフトウェア制御を備えています。そのデバイスモニタとサポートアプリケーションは、プロセスの安定性と基板品質管理を提供することができます。データ収集装置は、リアルタイムのプロセス情報とデータロギング機能を提供します。さらに、レシピビルダー機能を備えたオプションのリモートアクセスとグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。Triase+EX-IIは、Class-1のクリーンルーム環境での動作を想定して設計されており、認定ガス管理ユニット、安全インターロック、高度な安全機能を搭載しています。高度なプロセスに必要な高温を維持するように設計されており、200°Cまでの不活性環境と5 Torrまでの高圧環境で動作できます。また、その自動バリアチャンバー洗浄機は、汚染のリスクなしに複数の層の厚さの堆積を行うことができます。東京電子トリアス+EX-II Ti/TiNは、高度な化学プロセスを実行するために設計された産業用リアクターです。それは多数のガス制御システム、二重RFの発電機、高度ソフトウェア制御および任意遠隔アクセスを特色にします。それはClass-1のクリーンルームで使用されるように設計され、安全および質を保障する安全インターロックおよび高度の安全機能が装備されています。