中古 TEL / TOKYO ELECTRON NT333 #293659316 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON NT333は、最先端のエピタキシャルリアクターです。TEL NT-333リアクターは、高効率設計と小型フットプリントを組み合わせ、生産現場へのシームレスな統合を可能にします。標準的なウェハサイズ（2〜8インチ）は、手動またはロボットのローディングとアンロードで処理できます。TOKYO ELECTRON NT 333は、二重基板ヒーターチャンバーを備え、最大1200°Cまでの最高温度まで基板を加熱できます。光学ピロメータと温度制御システムにより、蒸着サイクル中の精度と再現性が保証されます。また、低圧ダイナミック制御NT333可能にする独自のガス供給装置により、蒸着速度と均一性を正確に制御できます。この原子炉はまた、高度な電源モジュールを備えており、電極のRF電力をプログラムして温度と層厚を制御することができます。NT-333は、TEL E-VHS「アクティブチャンバー洗浄」システムの高度なバージョンを搭載しています。このユニットは、プロセス条件の変化に迅速かつ効率的な反応時間を提供し、チャンバー汚染による高いスループットレベルと再現性の問題を減らすことができます。また、新たにマイクロパーティクルフィルトレーションマシンを追加した東京エレクトロンNT-333は、微粒子レベルの低減とウェーハ歩留まりの向上により、安定したプロセスを提供します。最後に、TEL NT333は包括的な環境モニタリングツールを提供し、ガス圧力、温度、無線周波数電力、温度分布、圧力分布など、さまざまなプラメータに関するリアルタイムデータを提供します。このデータの分析は、プロセスエンジニアが任意の異常を容易に識別し、正確なスペクトルデータ収集のためのプラットフォームを提供し、プロセスの最適化とプロセス歩留まりの向上を容易にすることができます。