中古 TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Nexx #9184468 を販売中

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ID: 9184468
ヴィンテージ: 2010
Cu Tank power supply Manufacturer: LUMINA POWER INC P/N: 11001186A Rev 6 Input voltage: 100 – 240VAC ~ 50/60Hz Input current: 15A @ 100VAC 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Nexx TELは化学炉の一種です。均一な放熱性能を持つバッチ型半導体製造炉です。この原子炉には酸化ケイ素エッチング装置が装備されており、耐久性と耐食性に優れた材料で構成されているため、低温および高温の半導体デバイス製造プロセスに適しています。また、均一な放熱層を備えており、原子炉内の均一な温度制御を可能にし、精密で効率的な装置製作に最適です。この原子炉は、低いメンテナンス要件で信頼性が高いように設計されています。メンテナンスフリーで、ダウンタイムとコストを最小限に抑えます。それは合金にされたステンレス鋼および軽量アルミニウムから組み立てられます。これにより、任意のデバイス製造プロセスを長期的に使用するために、原子炉を簡単に可動および耐久性にすることができます。リアクタには複数のアクセスポイントがあり、あらゆる生産環境に簡単に導入できます。これは、継続的な生産と高いスループットを確保するための重要な機能です。また、原子炉にはパーティクルフィルターシステムが内蔵されており、完成後はクリーンで乾燥した排気を原子炉から排出することができます。これにより、お客様に高品質の製品を提供し、デバイス製造時の汚染リスクを低減します。TEL Nexxリアクターには、緊急遮断システム、アラーム警報システム、温度センサーなどの複数の安全機能も備えています。これにより、環境や条件に関係なく、原子炉が安全かつ安全に動作することが保証されます。原子炉は様々なメディアレシピを受け入れることができ、さまざまなプロセス技術と互換性があります。化学蒸着、スパッタリング、昇華、エッチングなどがあります。この原子炉は、高品質の半導体デバイスを製造する必要がある人に最適です。NEXX Nexxリアクターは、高い信頼性、低メンテナンス要件、および安全機能を備え、あらゆるタイプのデバイス製造プロセスに最適です。
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