中古 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-720 #9394396 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-720は、高効率の半導体ウェーハ製造プロセス炉です。半導体業界で使用される金属、酸化物、窒化物、その他の材料の加工用に設計されています。TEL MB2-720リアクターは、信頼性の高いマルチレベル電子ビーム加速器を使用して、最適なプロセスパラメータと低電圧蒸着レートを提供します。この原子炉は、他の従来の原子炉よりも動作温度が低く、蒸着時の柔軟性と精度が向上しています。マルチレベル電子ビーム加速器は、より高い線形加速度を提供し、より短い処理時間を提供することができます。ビーム形状と角度は最適な均一性と蒸着特性に最適化されており、ビームを制御してスループットと蒸着制御を最適化することができます。この装置はまた、プロセスに関するフィードバックを提供する自動監視システムを備えています。これにより、最適な材料使用率と正確な結果が保証されます。TOKYO ELECTRON MB2-720炉は、プロセス室の大気圧力変動を、生産中の均一な蒸着を高める方法の一つとして利用しています。これにより、基板位置と基板温度のばらつきを低減できます。また、蒸着プロセスを正確に制御するために、狭いエネルギー分布範囲で電子とイオンを生成することができる低エネルギー電子ビーム制御装置を備えています。これは均一な沈着を確保するのに役立ちます。MB2-720は半導体生産ライン全体に組み込むことができ、基板の積み下ろしだけでなく、複数のプロセスにも同じ装置を使用することができます。この原子炉は、交換が容易な部品で、簡単で効果的なメンテナンスのために設計されています。このツールはまた、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、迅速なオペレータの指示と自動化されたプロセス制御を可能にします。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON MB2-720は半導体ウェーハの加工において高度で信頼性の高い原子炉です。製造時の効率、均一性、制御性が高く、半導体製造工場に最適です。