中古 STS / ADVANCED VACUUM SYSTEM Vision MK II #293754706 を販売中

ID: 293754706
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2008
PECVD System, 8" Turbo pump Chiller Gases: SiH4/Ar2, CH4, NH3, N2, O2, Ar, CF4, N2O 2008 vintage.
STS/ADVANCED VACUUM Equipment Vision MK IIは、最先端の技術と革新的な設計を組み合わせ、真空プロセスで最適な性能を達成する最先端の原子炉です。この原子炉は、半導体製造、薄膜蒸着、研究用途など、さまざまな産業の要求を満たすように設計されています。最先端の機能と包括的な機能を備えたSTS Vision MK IIは、真空システムにおいて比類のない制御、精度、信頼性を提供します。ADVANCED VACUUM System Vision MK IIリアクターの主な特徴の1つは、高度なポンピングユニットであり、プロセス性能を最適化するために高真空レベルを作成および維持するように設計されています。この原子炉には、大容量ターボ分子ポンプ、低温ポンプ、およびドライポンプが装備されており、これは、チャンバーからのガスや蒸気の迅速な避難と効率的なポンピングを実現するために協力しています。この堅牢なポンピングマシンは、高性能の真空プロセスに不可欠な高速ポンプダウン時間、高いポンピング速度、および低ベース圧力を保証します。Vision MK IIリアクターは、優れたポンプ機能に加えて、プロセス・ガスおよび蒸気の精密な制御を可能にする洗練されたガス処理ツールを誇っています。この原子炉には、マスフローコントローラ、圧力レギュレータ、およびガス入口バルブが装備されており、ユーザーは特定のプロセス要件を満たすためにガス流量、組成、圧力レベルを正確に調整することができます。この高度なガス処理アセットは、優れたプロセス制御、均一な成膜、および幅広い真空アプリケーションで再現可能な結果を保証します。STS/ADVANCED VACUUM Model Vision MK IIリアクターは、高度な加熱冷却装置を備えており、プロセスサイクル中に正確な温度制御を可能にします。原子炉内には電気抵抗ヒーター、水冷ジャケット、温度センサーを備えており、室内の安定した均一な温度プロファイルを維持することができます。この精密な温度制御は、薄膜の成長速度を制御し、フィルム特性を最適化し、蒸着プロセスの再現性を確保するために不可欠です。さらに、STS Vision MK IIリアクターには、プロセスパラメータのプログラミングとモニタリングを容易に行うことができる包括的な自動化および制御システムが装備されています。ユーザーフレンドリーなインターフェース、タッチスクリーンディスプレイ、直感的なソフトウェアを備えており、プロセスレシピの設定、ユニットパラメータの監視、プロセスデータのリアルタイム分析が可能です。この高度なオートメーションマシンは、操作を合理化し、生産性を向上させ、真空システムの一貫したプロセス性能を保証します。さらに、ADVANCED VACUUM Tool Vision MK IIリアクターは拡張性と汎用性を考慮して設計されており、カスタマイズと拡張が容易なモジュラーチャンバー設計が可能です。この原子炉は、さまざまな基板サイズ、構成、およびプロセス要件に対応できるため、幅広い研究および産業用途に適しています。Vision MK IIリアクターは、半導体デバイスの製造、光学コーティング、表面改質のいずれにおいても、多様なプロセス要求に対応するために必要な柔軟性と適応性を提供します。全体として、STS/ADVANCED VACUUM Asset Vision MK IIリアクターは、その高度な機能、正確な制御、および信頼性の高い性能を備えた真空技術の新しい標準を設定します。最先端の技術と革新的な設計を組み合わせることにより、STS Vision MK IIは、真空プロセスで優れた結果を達成し、さまざまなアプリケーションで卓越した品質、効率、生産性を確保するための強力なツールをユーザーに提供します。
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