中古 SENTECH SI ALD LL #293651896 を販売中
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SENTECH SI ALD LLリアクターは、低圧環境下でナノスケール薄膜の原子層蒸着（ALD）を行うために設計された最先端の装置で、優れた均一性と蒸着パラメータに対する制御性が向上しています。システムは、原子炉室、ユニットコンピュータ、制御ユニットの3つの主要コンポーネントで構成されています。原子炉室は、基板、原料、反応ガスを収容するステンレス製の真空チャンバーで構成されています。一体型の資源処分ユニットと差動ポンプ機も付属しています。内部には、基板沈着およびプロセス制御を監視するためのAlkanicon™電子エネルギーアナライザ（EEM）が装備されています。さらに、チャンバーには、望ましい雰囲気と圧力を維持するために、いくつかの発熱体とターボポンプが装備されています。ツールコンピュータは、すべての機械機能の操作のためのカラータッチスクリーンディスプレイを含むコンパクトなボックスです。このユニットには、ALDプロセスを自動的に校正および制御できる強力なプロセッサが装備されています。ソフトウェアを使用すると、堆積条件やパラメータを定義してプロセスをプログラムでき、手動で調整することができます。この資産には、最適で再現性のあるプロセスを保証するために事前にプログラムされた制御システムもあります。最後に、制御ユニット、すなわち核は完全に囲まれており、SENTECHモデルのすべての電気部品が含まれています。アナログポート、デジタルシグナルプロセッサ（DSP）装置、サーボ制御装置、高精度ファイバ光温度制御システムを備えています。この単位は部屋で外的に合い、取付けおよび維持を容易にさせるモジュラー設計があります。SI ALD LLリアクターは、ナノスケール薄膜の正確な蒸着を安全かつ効率的に行うために設計された、モダンで機能豊富なユニットです。高度な技術部品により、様々な堆積プロセスを処理することができ、バイオ情報学、半導体、航空宇宙などの産業に適しています。
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