中古 OXFORD Plasmalab 80 Plus-S #293604358 を販売中

製造業者
OXFORD
モデル
Plasmalab 80 Plus-S
ID: 293604358
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus-Sは、様々な研究用途向けに設計された高度な性能の多機能プラズマ炉です。デュアルビューガス注入システムを搭載し、プラズマ処理、蒸着、エッチング、洗浄など幅広い実験をサポートします。このデバイスは、フラットパネルからマイクロチップまで、多くのプロセス基板に対応するように設計された円柱チャンバをホストします。最先端のチャンバーは、基板上の正確なプロセス均一性を確保するために、合理化と渦電流で最適なガス分布を誘導するように最適に設計されています。また、独立した静電セントリングを備えており、位置精度をさらに保証します。Plasmalab 80 Plus-Sは、誘導的および容量的に結合されたプラズマプロセスの両方を実行できるため、さまざまな実験に最適です。さらに、プラズマ電位をin situモニタリングするための革新的な静電チャージメータや、精密な分光分析用の高分解能分光計などの機能を備えています。このデバイスには、プラズマ実験のすべてのパラメータを制御し、データ取得と分析を統合する高度なコンピューター制御システムが装備されています。さらに、プラズマリアクターは、イーサネットやGPIBを含むさまざまな通信インタフェースを提供し、現代のシステムとの円滑な統合を保証します。OXFORD Plasmalab 80 Plus-Sは、高いレベルのプラズマ制御をユーザーに提供するように設計されており、プロセスの最適化と正確な分光測定を提供します。多機能と人間工学に基づいた設計により、このプラズマリアクターはさまざまな研究課題に最適です。
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