中古 OERLIKON LEYBOLD Univex 350 #9409490 を販売中
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OERLIKON LEYBOLD Univex 350は、基板上の表面蒸着や薄膜蒸着用に設計された縦軸リアクタです。Univex 350は、蒸発、スパッタ蒸着、その他の技術などの物理蒸着（PVD）プロセス工程用に特別に設計された拡散バッチ型の原子炉です。この原子炉は円筒形のオープンポケットシステムを備えており、基板交換とフレキシブルジオメトリを迅速に行うことができます。これにより、積層基板、狭いスリット、小さな基板部分などの困難な形状に適応することができます。この原子炉は、蒸発源に使用される中央のるつぼ、圧力測定用の2つの石英窓、およびポンプ、ローディング、アンロード、ガス入力用の2つのポートで構成されています。チャンバは、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）に接続された2つの独立したPIDコントローラによって制御されます。OERLIKON LEYBOLD Univex 350のコンポーネントは、温度、圧力、およびPLCから利用可能なその他のプロセス制御フィードバックを備えたプログラム可能です。また、プロセス中に真空を着実に維持できる自動スロットルバルブを備えています。さらに、Univex 350には、強力な汚染、機械的損傷、ガス漏れなどの潜在的な問題に対する統合されたチェックおよび安全システムが含まれています。これらの安全システムは、原子炉が手動でも自動的に操作できるようにします。さらに、その自己診断プログラムは、ユーザーがバルブ操作をチェックし、システムパラメータを監視することができます。OERLIKON LEYBOLD Univex 350は信頼性の高い原子炉で、様々な材料の薄膜を簡単かつ迅速に蒸着できます。その効率的な設計と運用の柔軟性は、その性能をバックアップし、工業用および研究用に最適です。
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