中古 OERLIKON / LEYBOLD KAI 1200 #9300286 を販売中

OERLIKON/LEYBOLD KAI 1200は研究開発および商業および産業適用の使用のために設計されている熱炉です。この装置は、誘電体RF発電機とガス供給システムの2つのコンポーネントを備えています。誘電性RFジェネレータは、高エネルギーのプラズマ材料を作成するために使用される高周波電磁場を誘導するために使用され、プロセスパラメータの正確な制御を可能にします。それは精密な頻度および変数制御、高性能および温度の均等性を特色にします。ガス供給ユニットは、原子炉への制御されたリアクタントガスの効率的な供給を提供するように設計されています。これは、一般的な電気機械制御ユニットから作動する多段コンビネーション調整バルブとレギュレータを利用しています。これにより、広範囲の圧力と流量設定にわたってリアクタントガスを正確に制御できます。機械はまた作り付けの過圧保護装置および他の安全特徴と完全な安全を、可能にします。LEYBOLD KAI 1200は、フィルターを使用して原子炉に入る前に反応ガスから粒子を除去し、性能を向上させるクリーニングチャンバーも備えています。この原子炉には、RFコイル表面の温度を評価するための光学ピロメータも装備されています。OERLIKON KAI 1200は、ポリマー、窒化物、酸化物、金属などの材料の成膜、エッチング、表面改質などの用途に使用するために設計されています。プラズマエッチング、金属窒化、薄膜蒸着など、さまざまなプロセスレシピで使用できます。このツールは幅広い動作圧力、温度、沈着速度で使用でき、さまざまな用途に適しています。KAI 1200は、エレクトロニクス、航空宇宙、自動車、医療などの業界で精密な材料加工を必要とするアプリケーションに最適な汎用性、高性能、安全な反応資産です。