中古 OERLIKON / LEYBOLD KAI 1200 #293665785 を販売中
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OERLIKON/LEYBOLD KAI 1200は最高の柔軟性およびプロセス制御のために設計されている高温化学蒸着(CVD)の原子炉です。この先進的な原子炉装置は、様々な基材に均一性、高均一性、および最高品質の微細設計されたフィルムを堆積することができます。LEYBOLD KAI 1200は、200Åから400Åまでの範囲で均一な成膜を必要とするアプリケーションに最適です。OERLIKON KAI 1200は、低温のコールドウォールチャンバー設計に基づいており、汚染を最小限に抑え、超高速のクールダウン時間を可能にします。このシステムは、最適化された反応ゲート設計、無限に調整可能な反応フラックス、および-50C°から1600°Cの温度範囲を備えています。電源ユニットには、DC、 パルスDC、 RFなど、さまざまな電源が搭載されており、熱処理を正確に制御できます。KAI 1200の高度の構造設計は大きい基質区域の均一なフィルムの沈着を可能にします。極めて短いクールダウン時間と組み合わせた自動基板交換機能により、異なる基板を迅速かつ確実に切り替えることができます。また、各プロセスチャンバーに独立した排気工具とガス流量制御により設計されており、クリーンで最適なプロセス環境を確保しています。OERLIKON/LEYBOLD KAI 1200はユーザーフレンドリーで操作しやすいように設計されています。これには、グラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を介して操作されるタッチパネル付きの包括的なディスプレイアセットが含まれています。さらに、真空損失検出から過電圧保護まで、幅広い安全機能を備えています。さらに、このモデルはコンピュータ制御によってプログラム可能であり、再現可能なプロセスパラメータと性能を可能にします。結論として、LEYBOLD KAI 1200は、最大プロセス制御と均一なフィルム蒸着のために設計された高度な高温CVD炉です。低温の冷たい壁の部屋の設計、最適化された反作用ゲートの設計、温度範囲および広範囲の表示装置は最高のプロセス効率を可能にします。このシステムには、さまざまな安全機能、プログラム可能な制御、および簡単な基板処理のための自動基板交換機能も含まれています。
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