中古 NOVELLUS SYSTEM CONCEPT 2 INOVA #9032880 を販売中

NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVAは、高度なプロセス技術を搭載した高度で革新的な並列プロセス成膜システムで、さまざまな種類のウエハタイプで高いレートと優れた適合性を提供します。このユニットは、単一のプラットフォームに収容された3つの並列、独立した統合された有限加工チャンバーを利用して、優れたプロセス能力、品質、および再現性を提供します。CONCEPT 2 INOVAは、物理蒸着（PVD）、化学蒸着（CVD）、低圧化学蒸着（LPCVD）プロセスの最新の開発を利用しています。3つのチャンバーのそれぞれは、他のチャンバーとは独立して動作し、原子炉全体の性能に貢献しています。各チャンバーには独自のマイクロ波源が装備されており、各ウェハに独立した最適化された層を堆積させることができます。NOVELLUS Machine CONCEPT 2 INOVAは、制御技術を大幅に改善し、堆積環境の精密制御を可能にします。このツールは、最先端のオートメーション機能で設計されており、ユーザーに完全な統合とオートメーションを提供します。自動化された機械操作は、スループットを向上させ、コストを削減しながら、期待される信頼性と再現性の高いプロセス結果を提供します。CONCEPT 2 INOVAは、効率とスループットの両方を高めるために、いくつかの高度な技術を利用しています。これらの技術には、最適化されたガスの流れを可能にする高効率のデュアルプリチャンバー構成が含まれます。磁気シャッター技術は、ガス雲の正確な制御を提供し、高解像度の表面のための正確なガスビーム制御を可能にします。NOVELLUS ASSET CONCEPT 2 INOVAには高精度アークジェットチャンバーがあり、高解像度の構造を正確に制御することができます。CONCEPT 2 INOVAは、酸化物、窒化物、金属、CMPプロセスなどの並行プロセスが可能な多機能プロセスプラットフォームです。また、サブATM、超低圧、高圧動作モードなど、さまざまな堆積オプションを提供しています。このモデルは、特定のお客様やアプリケーションの要件に合わせて柔軟に構成できます。NOVELLUS Equipment CONCEPT 2 INOVAは、優れたプロセスと統合機能を提供するだけでなく、幅広い診断ツールを提供し、オペレータにプロセスの包括的な概要を提供します。すべての操作とパラメータを内蔵して監視することで、オペレータはこれまで以上にプロセスの変動や異常を検出することができます。さらに、内蔵のプロセス制御システムは、再現性のあるプロセス結果だけでなく、加工結果の精度と安定性を保証します。CONCEPT 2 INOVAは、最新の高度なプロセス製造環境に最適なソリューションを提供する完全な機能パッケージを提供します。NOVELLUS UNIT CONCEPT 2 INOVAは、堅牢で信頼性の高いパフォーマンスにより、現代の堆積プロセスの要求を満たすために、手頃な価格、汎用性、信頼性の高いソリューションを提供します。