中古 NOVELLUS Speed #9272639 を販売中

NOVELLUS Speedは、半導体デバイス製造用に特別に設計された高速化学蒸着（CVD）原子炉です。その革新的なデザインは、拡張プロセスウィンドウで迅速なマルチステップ堆積を可能にします。これにより、ユーザーは複雑な集積回路を構築するためにさまざまな材料およびプロセス技術を適用する柔軟性を提供します。NOVELLUSスピードリアクターは、高効率で信頼性の高い蒸着プロセスを提供するために、CVD技術の最新の進歩を利用するように設計されています。これは、単一のステージ、高速マグネトロン強化プラズマ源が含まれています。このソースは、RFマッチング機能とともに可変周波数とハイピーク電力を利用して、制御されたコーティングプロセスを保証します。NOVELLUSスピードリアクターは、ウェーハ表面全体に均一性を提供しながら、高濃度と低濃度の両方の材料をSpeedに堆積することができます。NOVELLUSスピードリアクターには、蒸着均一性を向上させるために、二段基板ヒーターが装備されています。このヒーターはマグネトロンと連動して反応室全体で均一な温度を維持します。第1段階のヒーターは必要な沈殿の温度まで基質を暖めます、第2段階のヒーターは必要に応じて温度を調節するのに使用されています。プロセスの安定性を向上させるために、スピードリアクターには独自のマルチゾーンプロセス制御システムが装備されています。このシステムは、必要に応じてリアクタントやその他のプロセスパラメータのレベルを自動的に調整し、これまで不可能だった方法でプロセスを最適化します。マルチゾーンプロセス制御システムと高度な診断機能を組み合わせることで、処理を中断することなく即座に調整することができます。NOVELLUS Speed Reactorには、制御された濃度で幅広い材料の高速蒸着を可能にする先進的な反応物質供給システムも含まれています。これらの配信システムは、正確な反応物質濃度を迅速かつ再現可能な方法で提供するように設計されています。さらに、デリバリーシステムには、単一のツールでマルチステッププロセスを可能にする自動シーケンスリアクタント配信が装備されています。スピードリアクターは、半導体デバイスの製造に最適なツールです。NOVELLUS Speedを提供し、非常に複雑な集積回路を迅速に構築するために柔軟に必要な、優れた再現性と均一性を備えています。その革新的な設計と高度な技術により、スピードリアクターは信頼性が高く効率的なCVD蒸着プロセスをお探しの方に最適です。