中古 NOVELLUS Speed #9262827 を販売中

NOVELLUS Speedは、高い生産性とフィルム品質のために設計された高度な化学蒸着（CVD）炉です。これは、複数のCVDガスを同時に利用して、マニュアルシステムで実現できるものよりも薄く、密度が高く、一貫性のある堆積層を作成する高度な堆積装置です。この革新的なリアクタの高度な設計と機能により、高層蒸着率、高いスループット、優れたウェーハの均一性を実現します。速度は脈打ったプラズマ力および配達システムによって動力を与えられます。このユニットは、低圧から高圧まで幅広いプラズマガスのパワーと圧力を生成することができます。これにより、堆積物が正確に制御され、最高品質の層が生成されます。統合されたプラズマ源ジェネレータは、パルス周波数とデューティサイクルを利用して、適切な電力と圧力が原子炉室に供給され、所望のプロセス成果を達成することを保証します。NOVELLUS SpeedのEDグラファイトマグネトロンスパッタリング（GMS）は、反応スパッタリング、多層、ウェットエッチングなどの追加の成膜技術を可能にします。GMSは、材料の無駄を減らしながら、より高密度層を生成し、沈着率を高め、沈着均一性を向上させることができます。GMSは、従来のマグネトロンスパッタリングシステムと比較して最大10倍のイオン化効率を提供します。速度はまたプロセスパラメータを正確に測定し、異常なプロセス状態を迅速かつ簡単に検出できる高度なプロセスモニタリングマシンが装備されています。このツールは、各原子炉室の蒸着速度、膜厚、汚染レベル、および他の多くのパラメータをリアルタイムで追跡します。NOVELLUS Speedは、エボナイトマイクロ波技術を使用して、ウェーハからウェーハへの均一なガス流量と蒸着を保証します。この技術は、RFチャンバー内に均一なマイクロ波プラズマ場を作成する高度なマイクロ波発電機プローブを使用して、堆積物の均質性とより高品質で厚いフィルムを可能にします。このマイクロ波プラズマは、高度なデバイス構造や設計のためにフィルム層を簡単にパターン化する機能も備えています。標準的なレシピを自動化するガスミキシング資産、レシピの変更を追跡するオンラインレシピ修正モデル、漏れの排気システムを継続的にテストするリアルタイム漏れ検出装置など、多くの自動化機能が標準装備されています。NOVELLUS Speedはまた、優れた室内清潔性を確保するために有効にすることができる高度な自動クリーニング機能を提供しています。Speedは、高度な設計、効率的な電力と配送システム、均一なマイクロ波プラズマ分野、および自動安全およびプロセス監視システムにより、優れた蒸着性能を提供します。NOVELLUS Speedは、低コスト、高収量の堆積物に適しており、高度な製造プロセスの進歩の真のリーダーです。