中古 NOVELLUS Speed #9262058 を販売中

NOVELLUS Speedは、NOVELLUS Systems、 Inc。が開発した先進的な原子炉技術です。高度な半導体製造業界において、より迅速で費用対効果の高いプロセスと生産を可能にするよう設計された高性能リアクタです。この原子炉は、ウェーハを効率的に処理して全体的なスループットを向上させる高度な地形法を使用しています。この原子炉は、今日利用可能な最も複雑な製造プロセスのためのより高いスループットを提供することを目的とした一連のプロセスチャンバで構成されています。これには、化学機械平面化（CMP）、半導体薄膜沈着、ノズルベースのエッチング、プラズマエッチング、ウェーハ洗浄などのプロセスが含まれます。Speedの中心には、地形的に均一なウェハモーション（TUWM）ウェハトランスポートテクノロジーがあります。この技術は、精密な閉じ込めシステムと自動モーショントラッキングを組み合わせて、ウェーハをチャンバー内に保管します。これにより、堆積プロセス中に一貫したパターン形状が保証されます。さらに、TUWMウェーハトランスポートテクノロジーは、均一性インデックス内の変動を最小限に抑え、チャンバークリーニングの必要性を低減し、潜在的な粒子汚染を低減します。NOVELLUS Speed Reactorは、ラジカルプラズマ源（RPS）を使用して、さまざまなプロセス要件に最適化されたプラズマを生成します。これにより、高解像度プロセスを可能にする強力で効率的なプラズマが生成されます。RPSにはチューニング可能な電力制御機能も搭載されており、原子炉はチャンバー内のプロセスにチューニングすることができます。高度なスピードリアクターはまた、チャンバー内の一貫した均一性を確保するために高度な温度制御を利用します。これにより、プロセス・チャンバは処理サイクル全体にわたって一貫した結果をもたらすことができます。これらのコンポーネントを組み合わせることで、NOVELLUS Speedリアクターはより高速なスループットとより高い製品歩留まりを実現し、コストを削減できます。全体として、Speedは、製造スループットを向上させるために設計された革新的で先進的な製造技術です。この原子炉は、地形の均一化されたウェハモーション、ラジカルプラズマ源、最適な温度制御などの高度な技術を組み合わせて、一貫した高品質の製造プロセスを提供することに依存しています。その結果、この技術は、半導体製造業界のためのより速く、より効率的で費用対効果の高い生産を可能にします。