中古 NOVELLUS Sequel Express #9313087 を販売中
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ID: 9313087
System
P166/64M Controller
Signal tower: Front mount type
LCD Monitor, 12.1"
DLCM:
Module
P166/64M Module controller
Cassette transfer: Shuttle type
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 TM Robot, P/N: 003-1600-25
Indexer robot: Motor
CDP2407-2 Animatics
26 Slots arc bar
Auto cassette mapping
MKS 750B11TCE2GK Manometer, 10 Torr
GRANVILLE PHILLIPS 275 Mini convectron
TYLAN ACX 3200 Throttle valve controller
Slit valve type: L/L VAT/CH
(3) 27-10157-00 IO Controllers
CVD 1:
Module
ADVANCED ENERGY 3150274-004 B SE RF Match network
View port left / Right
RF Distribution
Gas distribution
No heat mix bowl
(6) Shower heads
Process chamber ring
MESC Flange
MKS 627A13TBC Manometer, 1000 torr
MKS 627A11TBC Manometer, 10 torr
UE PV48W-14 Vacuum switch, atmosphere
UE E48W-H14 Vacuum switch, 15 torr
VM3200 End point detector, integrated dual wavelength EPD
(3) Digital dynamic 27-10157-00 IO controllers
Throttle valve controller
02-123072-00 Rev A interlock PCB, CVD
P166/64M Module controller
Water flow switch
Gate valve, Hi Vac, 4"
Throttle valve
Spindle mechanism: Ferrofluidic - Bellows type
Process chamber: Vertical 4-line type
Exhaust type: Vertical process chamber
EUROTHERM Temperature controller
Hastings gauge
ADVANCED ENERGY PDX 1400 MF GEN RF Generator, P/N: 27-115617-00 F/R A
ADVANCED ENERGY RFG 5500 Generator rack, P/N: 27-028379-00 F/R C
MFC (AERA):
FC-7800CD, 1SLM, SiH4
FC-7800CD, 5SLM, N2
FC-7800CD, 10SLM, He
FC-7800CD, 10SLM, NH3
FC-7800CD, 20SLM, O2
FC-7800CD, 5SLM, O2F6
FC-7800CD, 20SLM, N2O
FC-7800CD, 10SLM, N2
CVD2:
ADVANCED ENERGY 3150274-004 B SE RF Match network:
View port left / Right
RF Distribution
Gas Distribution
Mix bowl: Temperature setting type
(6) Shower heads
Heater block
Process chamber ring
MESC Flange
MKS 627A13TBC Manometer, 1000 torr
MKS 627A11TBC Manometer, 10 torr
UE PV48W-14 Switch, vacuum, atmosphere
UE E48W-H14 Switch, vacuum, 15 torr
VM3200 End point detector integrated dual wavelength EPD
(3) IOC 27-10157-00 / Ver4.1
Controller, throttle valve
Interlock PCB, CVD Rev A 02-123072-00
P166 / 64M Module controller
Water flow switch
Gate valve, Hi Vac, 4"
Throttle valve
Spindle mechanism: Ferrofluidic - Bellows type
Process chamber: Vertical 4-line type
Exhaust type: Vertical process chamber
EUROTHERM Temperature controller
Hastings gauge
ADVANCED ENERGY PDX 1400 MF GEN RF Generator, P/N: 27-115617-00 F/R A
ADVANCED ENERGY RFG 5500 Generator rack, P/N: 27-028379-00 F/R C
MFC (AERA):
FC-7800CD, 1SLM, SiH4
FC-7800CD, 5SLM, N2
FC-7800CD, 10SLM, He
FC-7800CD, 10SLM, NH3
FC-7800CD, 20SLM, O2
FC-7800CD, 5SLM, C2F6
FC-7800CD, 20SLM, N2O
FC-7800CD, 10SLM, N2
SSD:
MSSD 01-132945-00, MSSD included UPS
AC 208V, 3-Phase, 5-Wires, 50 Hz, 1000 kVA
AC 208V (CVCF) Single phase, UPS 50 Hz, 20 Amps.
NOVELLUS Sequel Expressは、半導体および材料用途のナノ粒子の処理に使用される原子炉です。Sequel Express装置は、垂直基板をサポートする独自の水平プラズマソース構成を使用して、高度な材料を製造するための正確でクリーンな環境を作り出します。このシステムには、UV対応のプラズマ源、精密ガス添加のための特許取得済みのガスインジェクタ、均一な磁場制御のための高出力の電磁石など、高性能で一貫性を確保するための多くの高度な機能が装備されています。NOVELLUS Sequel Expressリアクターは、原子炉の上側からガスインジェクタに向かってプラズマフロントを生成するユニークな水平プラズマ源の設計を特徴としています。UV対応プラズマ源は119nm以下の短い波長を持ち、反応物質から極めて小さな粒子を生成するのに役立ちます。プラズマ容積は、高出力の電磁石によって提供される一定の磁場で維持されます。さらに、ガスインジェクタは、多種多様な材料を合成する際に、O2やN2などの高圧ガスを精密に霧化することができます。Sequel Expressには、ユーザーがリアクターとそのプロセスを正確にプログラムして維持できるようにする一連のコントロールもあります。デジタル電源、プログラム可能なゲートリファレンス電圧、およびプログラム可能なユーザーインターフェイスが含まれています。ユーザーインターフェイスにより、原子炉、ガスの流れ、圧力、および温度を手動で自動制御できます。さらに、ガス流量、プラズマ監視、温度、圧力、微細な汚染物質の存在などのプロセスパラメータの高度な監視も提供しています。この情報を使用して、ユーザーは特定のタイプのナノ粒子合成のための最良のパラメータを決定することができます。NOVELLUS Sequel Expressは安全で信頼性の高い機械で、産業用ラボでの使用を想定して設計されています。操作が簡単で、メンテナンスも最小限に抑えられます。さらに、このツールは簡単にきれいになり、優れたパーティクルコレクション機能を提供します。その高度な機能と効率的な設計により、Sequel Expressは半導体や材料製造に最適です。
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