中古 NOVELLUS Sabre #9299776 を販売中

NOVELLUS Sabreは、半導体加工のために特別に設計された原子炉です。複雑な集積回路や微小電気機械システム（MEMS）における薄膜材料の堆積に使用されます。Sabreはバッチ型プロセスです。つまり、ユーザーは特定の時間に多数の基板を処理できるため、従来のバッチ型マシンよりも大きな利点があります。これは、閉じたシステムであり、完全に自動化されたガス分配および制御モジュールを備えています。NOVELLUS Sabreは、高速、マルチガン、自動選択成膜プロセスを利用しています。このプロセスにより、絶縁体、金属、有機材料などの薄膜材料の複数の層を基板に堆積させることができます。Sabreは堆積プロセスを正確に制御し、複雑なプロセスに最適です。この原子炉は、高温チャンバと低温チャンバを含む2つの異なるプロセスチャンバを備えています。高温チャンバーは、薄膜蒸着および化学蒸着（CVD）プロセスに必要な極端な温度を可能にします。低温チャンバーはより控えめな温度を提供し、ソルゲルやスピンのプロセスに使用できます。リアクターには自動ウェーハローディングシステムも搭載されており、ウェーハを基板ホルダーに正確かつ均等にロードすることができます。加熱されたウェーハホルダーは、蒸着プロセス全体にわたって温度を正確に維持できるため、最適なウェーハ性能を確保できます。プロセス全体を独自のNOVELLUSソフトウェアパッケージで監視することができ、毎回正確な結果を保証します。NOVELLUS Sabreは、2つの並列蒸着プロセスを同時に使用できる独自のデュアルノズル設計を採用しています。この技術は、堆積物が適切な堆積のためのすべての要件を満たしていることを保証します。また、コンフォーマルコーティングや材料蒸着などの複雑なプロセスに使用できる高温噴出源を備えています。結論として、Sabreは強力で効率的で信頼性の高い原子炉であり、複雑で高機能集積装置を製造することができます。最新の半導体加工のすべての要件を満たし、正確な制御と監視を提供します。このように、この原子炉はあらゆる半導体製造施設にとって非常に貴重なツールです。