中古 NOVELLUS Sabre #9299039 を販売中

NOVELLUS Sabreは、薄膜材料を基板に堆積させるために設計された高性能で精密な原子炉です。この原子炉は、一般的に「金属蒸着」と呼ばれるマイクロチップ製造に使用される薄膜蒸着プロセスに使用されます。Sabreは高度な分子ビームエピタキシー（MBE）ツールで、製造業者はプロセス中に堆積した材料を正確に制御することができます。NOVELLUS Sabreの設計は、線形ジメチルブランケット分子ビームエピタキシー炉（LDB-MBE）に基づいています。この画期的な装置は、入口窓の必要性を排除し、より高い収率と少ない粒子汚染につながります。さらに、デュアルチャンバーシステム設計を使用することで、安定性と蒸着速度が向上します。Sabreは、LPC （Lower Processing Chamber）とUpper Processing Chamber （Upper Processing Chamber）の2つの主要なチャンバーから構成されています。LPCには、ガンポット、るつぼ、堆積源の材料が含まれています。ガンポットは電子サイクロトロン共鳴マイクロ波周波数源としても知られており、堆積プロセスのために基板表面に向けられた非常にエネルギッシュな原子ビームを作り出します。るつぼは耐火合金で作られており、その中に液体源を保持しています。UPCは、加熱/冷却シールド（H/Cシールド）、基板ホルダー、排気ラインで構成されています。H/Cシールドは、蒸着プロセス中の基板の温度制御を維持するために使用されます。基板ホルダーは、複数のウエハを同時に保持し、均一なコーティングのために自動的に平準化する能力を備えています。排気ラインは、付加的な制御を追加し、デブリと排気ガスが堆積領域に入るのを防ぎます。NOVELLUS Sabreリアクターには、石英蒸着ゾーンとるつぼ圧力制御があり、薄膜蒸着の均一性を提供し、再現性のある結果を生み出します。安全性を最大限に高めるために、完全不活性ガスユニット（IGS）が組み込まれており、堆積プロセス中にオゾンや水酸化物などの有害ガスの存在を減らすために動作します。Sabreリアクターは、高度なマイクロチップ製造プロセスに最適なツールです。最新の技術と精密工学の組み合わせは、高品質で均一な蒸着膜だけでなく、再現性のある結果を達成する能力を製造しています。この汎用性の高い機械により、製造メーカーは生産の精度、安全性、効率性を向上させることができます。